سامانه لایه نشانی قوس کاتدی ۱۶۰۰

لایه نشانی قوس کاتدی یکی از روش های رسوب فیزیکی بخار (PVD) می باشد که در آن از قوس الکتریکی برای تبخیر مواد از روی سطح تارگت استفاده می کنند. ایجاد پوشش های مقاوم به سایش و خوردگی و نیز دارای تنوع رنگی از قابلیت های این روش لایه نشانی به شمار می رود.حجم بالای محفظه خلا این سامانه و چرخش نگهدارنده نمونه، امکان بارگذاری تعداد قابل قبول از قطعات را فراهم می نماید. همچنین استفاده از ترکیب مناسبی از پمپ های روتس، روتاری و دیفیوژن با سرعت تخلیه بالا امکان پوشش دهی در کوتاه ترین زمان را برای این سامانه فراهم آورده است. این سامانه طوری طراحی شده است که امکان فعال بودن شبانه روزی و پوشش دهی مداوم را داشته باشد. تمیزکاری قطعات به صورت دقیق و اتمی با استفاده از پلاسما پیش از شروع پوشش دهی باعث افزایش چسبندگی لایه و بازدهی دستگاه می شود.

مشخصات فنی

محفظه خلا استوانه ای H180 cm * ∅160 cmدارای چرخاننده نمونه با قابلیت تنظیم سرعت چرخش

دارای سامانه گرم کن تا دمای ۲۰۰ درجه سانتی گراد
دارای سامانه کنترلی با مانیتور صفحه لمسی تمام رنگی

دارای سه MFC جهت کنترل گازهای فرآینددارای بایاس زیرلایه با منبع پالسی

دارای ۲۰ کاتد آرک با تارگت ۳ اینچیدارای سامانه تمیزکاری با پلاسما

فشار نهایی X10E – 5 torr