شرکت یارنیکان صالح

این سامانه برای پوشش دهی ورق ها و لوله های استیل (به طول ۳ متر) برای اهداف تزئینی طراحی و ساخته شده است. حجم بالای محفظه در کنر استفاده از پمپ های روتس، روتاری و دیفیوژن با سرعت تخلیه بالا امکان بهره برداری هر چه بیشتر از این سامانه را فراهم آورده است.امکان پوشش دهی بر روی انواع فلزات، سرامیک، شیشهامکان لایه نشانی لایه های مختلف از جمله :Ti, TiN, TiCN, Zr,ZrN,Cr,CrNمشخصات فنیمحفظه خلا استوانه ای L360 CM * ∅230 CMدارای چرخاننده نمونه با قابلیت تنظیم سرعت چرخشدارای سامانه گرم کن تا دمای ۲۰۰ درجه سانتی گراددارای سامانه کنترلی با مانیتور صفحه لمسی تمام رنگیدارای سه MFC جهت کنترل گازهای فرآینددارای بایاس زیرلایه با منبع پالسیدارای ۳۹ کاتد آرک با تارگت ۳ اینچیدارای سامانه تمیزکاری با پلاسمافشار نهایی X10E – 5 torr

لایه نشانی قوس کاتدی یکی از روش های رسوب فیزیکی بخار (PVD) می باشد که در آن از قوس الکتریکی برای تبخیر مواد از روی سطح تارگت استفاده می کنند. ایجاد پوشش های مقاوم به سایش و خوردگی و نیز دارای تنوع رنگی از قابلیت های این روش لایه نشانی به شمار می رود.حجم بالای محفظه خلا این سامانه و چرخش نگهدارنده نمونه، امکان بارگذاری تعداد قابل قبول از قطعات را فراهم می نماید. همچنین استفاده از ترکیب مناسبی از پمپ های روتس، روتاری و دیفیوژن با سرعت تخلیه بالا امکان پوشش دهی در کوتاه ترین زمان را برای این سامانه فراهم آورده است. این سامانه طوری طراحی شده است که امکان فعال بودن شبانه روزی و پوشش دهی مداوم را داشته باشد. تمیزکاری قطعات به صورت دقیق و اتمی با استفاده از پلاسما پیش از شروع پوشش دهی باعث افزایش چسبندگی لایه و بازدهی دستگاه می شود.مشخصات فنیمحفظه خلا استوانه ای H180 cm * ∅160 cmدارای چرخاننده نمونه با قابلیت تنظیم سرعت چرخشدارای سامانه گرم کن تا دمای ۲۰۰ درجه سانتی گراددارای سامانه کنترلی با مانیتور صفحه لمسی تمام رنگیدارای سه MFC جهت کنترل گازهای فرآینددارای بایاس زیرلایه با منبع پالسیدارای ۲۰ کاتد آرک با تارگت ۳ اینچیدارای سامانه تمیزکاری با پلاسمافشار نهایی X10E – 5 torr   

این سامانه برای ایجاد پوشش های سخت با روش قوس کاتدی طراحی و ساخته شده است. این پوشش ها که دارای مشخصاتی از جمله سختی بالا، ضریب اصطکاک پایین و مقاومت به خوردگی می باشند در صنایع قالبسازی، ابزارسازی و تولید قطعات صنعتی کاربرد دارند. لایه های TiCN،AlCrN، ZrN،TiN، CrN از جمله مواردی هستند که با این دستگاه می توان پوشش دهی کرد.مشخصات فنیمحفظه خلا استوانه ای H100 cm * ∅80cmقابلیت چرخاننده نمونه با قابلیت تنظیم سرعت چرخشدارای سامانه گرم کن تا دمای ۲۵۰ درجه سانتیگراددارای سامانه کنترلی با مانیتور صفحه لمسی تمام رنگیدارای سه MFC مجزا جهت کنترل گازهای فرآینددارای بایاس زیرلایه با منبع پالسیدارای ۸ کاتد آرک با تارگت ۳ اینچیدارای سامانه تمیزکاری با پلاسمافشار نهایی X10E – 5 torr

این سامانه صنعتی دارای دو کاتد اسپاترینگ (کند و پاش) از نوع منگنترون می باشد که تارگت های تخت مستطیلی روی آن نصب شده و امکان لایه نشانی مواد مختلف از جمله کروم، نقره، طلا را بر روی انواع فلزات، سرامیک، شیشه و پلاستیک فراهم می آورد. حجم بالای محفظه خلا این سامانه و چرخش نگهدارنده نمونه، بارگذاری تعداد زیادی قطعه را میسر کرده است. همچنین استفاده از پمپ روتس بهمراه پمپ روتاری و پمپ دیفیوژن شرایط بهره برداری در کمترین زمان را برای این سامانه فراهم آورده است. این سامانه به گونه ای طراحی شده است که امکان فعال بودن شبانه روزی و پوشش دهی مداوم را داشته باشد.این سامانه با دارا بودن تجهیزات تمیزکاری پلاسما قبل از شروع پوشش دهی می توان سطح قطعات را به صورت دقیق و اتمی تمیز نماید و چسبندگی لایه را تا چندین برابر افزایش دهد.مشخصات فنیمحفظه خلا استوانه ای H180 CM * ∅160 CMقابلیت چرخاننده نمونه با قابلیت تنظیم سرعت چرخشدارای 2 کاتد اسپاترینگ با تارگت تخت مستطیلی 140*20 cm²دارای سامانه کنترلی با مانیتور صفحه لمسی تمام رنگیدارای MFC جهت کنترل گازهای فرآینددارای سامانه تمیزکاری با پلاسمافشار نهایی X10E – 5 torr

سامانه های سری امگا در ده نوع طراحی و ساخته می شوند و بنا به سفارش، دارای یک یا سه روش لایه نشانی از جمله: کند و پاش DC، کند و پاش RF، تبخیر حرارتی مقاومتی و تبخیر با اشعه الکترونی می باشد. این سامانه ها دارای محفظه استوانه ای با جنس استیل   304 با درب بازشونده از جلو می باشد که دسترسی به تمامی قسمت های داخلی محفظه را آسان می سازد. مسیرهای تخلیه مستقیم (Roughing)  و پشتی (backing) به همراه شیر خلا بالای الکتروپنوماتیک و پمپ دیفیوژن با سرعت تخلیه 700 Lit/s از دیگر ویژگی های این سامانه است.مشخصات فنیفشار نهایی X10E – 6 torrنگهدارنده نمونه چرخان موتوریکنترل شونده با PLC به صورت اتوماتیکدارای فشار سنج های کاتد سرد و پیرانیمحفظه استوانه ای استیل با قطر حدودی 40cmدارای سامانه گرم کن تا دمای ۱۵۰ درجه سانتیگرادبخش تخلیه: پمپ روتاری و پمپ دیفیوژن DP150شیرهای خلا بالا، مسیر مستقیم و پشتی الکتروپنوماتیکاندازه گیری ضخامت بوسیله ضخامت سنج کریستالیدو مسیر برای تخلیه محفظه به منظور کاهش زمان تخلیهدارای سامانه کنترلی با مانیتور لمسی تمام رنگی

سامانه های لایه نشانی سری سیگما، قابلیت ایجاد پوشش های مختلف با روش کند و پاش یا تبخیر حرارتی را دارند. بخش تخلیه در این سامانه شامل پمپ روتاری و پمپ توربو مولکولی است که برای کاربردهای آزمایشگاهی و تحقیق و توسعه مناسب می باشد. این سامانه دارای محفظه شیشه ای به همراه یک مسیر تخلیه است و به همین دلیل قیمت آن سامانه نسبت به سامانه های سری امگا پایین تر می باشدمشخصات فنیفشار نهایی X10E – 6 torrدارای فشارسنج پیرانیمحفظه استوانه ای پیرکس با قطر 30cmنگهدارنده نمونه چرخان موتوریبخش تخلیه: پمپ روتاری موتور توربو مولکولی DN63کنترل شونده PLC به صورت اتوماتیکاندازه گیری ضخامت بوسیله ضخامت سنج کریستالیدارای سامانه کنترلی با مانیتور لمسی تمام رنگی

این سامانه برای ایجاد لایه های نازک نانومتری با روش کند و پاش مگنترونی طراحی و ساخته شده است. منبع تغذیه این سامانه از نوع ولتاژبالای DC می باشد و امکان لایه نشانی برخی مواد فلزی نوبل مانند طلا، نقره و پلاتین را ایجاد می کند. سادگی عملکرد این سامانه، امکان کار با آن را برای بسیاری از کاربران فراهم آورده است. این سامانه علاوه بر کاربردهای آموزشی، به عنوان دستگاه مناسب آماده سازی نمونه های SEM محسوب می شود. این سامانه  در دو مدل Epsion و Epsilon+ طراحی شده است. مدل Epsilon+ علاوه بر قابلیت های سامانه Epsilon، امکان عملیات سطحی با استفاده از پلاسما (plasma trearment) را فراهم می نماید.مشخصات فنیفشار نهایی X10E – 2 torrدارای فشارسنج پیرانیبخش تخلیه: پمپ روتاری دو مرحله ایولتاژ پالسی با توان بیشینه ۱۰۰ واتکنترل شونده PLC به صورت اتوماتیکمنبع تغذیه DC توان 150 وات و ولتاژ قابل تنظیممحفظه استوانه ای پیرکس با قطر 15cmدارای شیر سوزنی برای تنظیم مقدار گاز ورودیاندازه گیری ضخامت بوسیله ضخامت سنج کریستالیکاتد کندوپاش از نوع مگنترون با قطر تارگت ۲ اینچیدارای سامانه کنترلی با مانیتور لمسی تمام رنگیسامانه فاظت دمایی برای جلوگیری از آسیب کند و پاش

فشارسنج پیرانی  ۱۰۳ همراه نمایشگر از مهمترین و پرکاربرد ترین فشارسنج های خلأ هستند که براساس قانون هدایتی گازها کار می­کنند.  رشته گرم آن در تبادل حرارتی با محيط ‏تحت اندازه گيری قرار دارد. اين فشارسنج برای اندازه گيری در گستره فشاری torr ۱۰۰ تا ‏ ‏۱۰-۳ ‏بکار می­رود. البته این فشارسنج ها تنها در بازه خاصی دقت دارند.مشخصات فنیگستره سنجش فشار (torr)100-10E-3فشار نهایی (torr)10E-6تغذيه ورودي (V)۱۵ارتباط الکتريکیRJ45دهانه اتصال خلأDN10

اين فشارسنج بر مبناي اندازه­گيري جريان ناشي از يونيزاسيون گازِ داخل محفظه کار مي­کند. اين جريان خود تابع چگالي يون­ها و در نتيجه فشار گاز مي­باشد. دستگاه از دو الکترود (آند و کاتد) تشکيل شده که براي انجام عمل يونيزاسيون، لازم است که بين دو الکترود اختلاف پتانسيل بالايي برقرار شود.بر ای اندازه گیری رنج خلأ بالا و خیلی بالا، در سامانه های خلأ از فشارسنج کاتد سرد استفاده می­شود. به دلیل خطای کمتر این فشارسنج نسبت به انواع دیگر فشارسنج ها، کاربرد گسترده ای دارد. از نظر شکل آند و کاتد به طور کلی سه نوع فشارسنج کاتد سرد وجود دارد، که عبارت اند از :  penning، Redhead  و inverted magnetron gauge(IMG). این فشارسنج­ها در نحوه عملکرد و اصول کلی مشترکند ولی با توجه به ساختار آند و کاتد در آنها حساسیت و دقت متفاوتی را می توان از آنها دید.فشارسنج يونيزاسيون با کاتد سرد قادر است به طور معمول فشارهاي بينtorr  ۳–۱۰  تا torr  ۶–۱۰    را اندازه­گيري کند.مشخصات فنیگستره سنجش فشار (torr)3×10E-4 – 10E-6فشار نهایی (torr)10E-6تغذيه ورودي (V)۱۵ارتباط الکتريکیRJ45دهانه اتصال خلأDN25

پمپ دیفیوژن دسته ای از پمپ های خلأ می باشند که در صنایع مختلف مورد استفاده قرار می گیرد. ویژگی این پمپ ها قیمت پایین، عملکرد ساده و طول عمر بالا نسبت به سایر پمپ های خلأ بالا می باشد و از همین جهت مورد توجه قرار گرفته اند. شرکت یارنیکان صالح در حال حاضر پنج مدل از پمپ­های دیفیوژن با ظرفیت های متفاوت را ساخته و در اختیار متقاضیان قرار می دهد.مشخصات فنیمدلDP-800DP-320DP-200DP-150DP-100سرعت تخلیه (lit /s )۲۴۰۰۰۳۵۰۰۱۸۰۰۷۰۰۲۵۰فشار نهایی (torr)6-10E ×6-10E ×6-10E ×6-10E ×6-10E ×دهانه خلأ بالاDN800DN320DN200DN160DN100دهانه پشتیDN200DN63DN50DN25DN25میزان روغن(lit)13(CC) 1500(CC)600(CC)250(CC) 100توان مصرفی17Kw4.5Kw2Kw1300W500Wاتصال آب3/8″ FPT1/4″ FPT1/4″ FPT1/8″ FPT1/8″ FPTدمای آب در حال گردش (◦C)۱۵-۲۵۱۵-۲۵۱۵-۲۵۱۵-۲۵۱۵-۲۵ تهران، خیابان آزادی، خیابان حبیب زادگان، بن‌بست فاطمی، پلاک ۱، طبقه ۵، واحد ۱۳۰۲۱-۴۰۶۶۰۷۸۸-۹۰۰۲۱-۶۶۰۸۴۴۶۷-۸۰۲۱-۶۶۰۶۸۳۵۵      

تنظيم­گر دبی جرمی (MFC) ابزاری برای اندازه­گيری و تنظيم دبی جرمی گاز با دقت بالا است. تنظيم­گر، مقدار مطلوب دبی جرمي را از كاربر دريافت و دبی جرمي عبوري را بر روي مقدار مطلوب توسط شير کنترلی تنظيم مي­کند. برای اين منظور اين سامانه از دو بخش اندازه­گيری دبی و تنظيم دبی تشکيل شده است. تنظيم­گر دبی جرمی در فرآيندهای  مختلف مورد استفاده قرار می گیرند.مشخصات فنیگستره های اندازه گیری SCCM۱۰۰-۵۰۰-۱۰۰۰-۲۰۰۰گازهای قابل استفادهAr-N2-O2-He-CO2-C2H2سرعت پاسخکمتر از ۱.۵ ثانیهصحت اندازه گیری۰.۱%گستره کاملمحدوده دماي کاری سیال(°C)۱۰-۴۰حداکثر فشار تفاضلی (bar)۴