تنظیم گر دبی جرمی

تنظيم­گر دبی جرمی (MFC) ابزاری برای اندازه­گيری و تنظيم دبی جرمی گاز با دقت بالا است. تنظيم­گر، مقدار مطلوب دبی جرمي را از كاربر دريافت و دبی جرمي عبوري را بر روي مقدار مطلوب توسط شير کنترلی تنظيم مي­کند. برای اين منظور اين سامانه از دو بخش اندازه­گيری دبی و تنظيم دبی تشکيل شده است. تنظيم­گر دبی جرمی در فرآيندهای  مختلف مورد استفاده قرار می گیرند.

مشخصات فنی

گستره های اندازه گیری SCCM۱۰۰-۵۰۰-۱۰۰۰-۲۰۰۰

گازهای قابل استفادهAr-N2-O2-He-CO2-C2H2

سرعت پاسخکمتر از ۱.۵ ثانیه

صحت اندازه گیری۰.۱%گستره کامل

محدوده دماي کاری سیال(°C)۱۰-۴۰

حداکثر فشار تفاضلی (bar)۴