فشارسنج کاتد سرد

اين فشارسنج بر مبناي اندازه­گيري جريان ناشي از يونيزاسيون گازِ داخل محفظه کار مي­کند. اين جريان خود تابع چگالي يون­ها و در نتيجه فشار گاز مي­باشد. دستگاه از دو الکترود (آند و کاتد) تشکيل شده که براي انجام عمل يونيزاسيون، لازم است که بين دو الکترود اختلاف پتانسيل بالايي برقرار شود.

بر ای اندازه گیری رنج خلأ بالا و خیلی بالا، در سامانه های خلأ از فشارسنج کاتد سرد استفاده می­شود. به دلیل خطای کمتر این فشارسنج نسبت به انواع دیگر فشارسنج ها، کاربرد گسترده ای دارد. از نظر شکل آند و کاتد به طور کلی سه نوع فشارسنج کاتد سرد وجود دارد، که عبارت اند از :  penning، Redhead  و inverted magnetron gauge(IMG). این فشارسنج­ها در نحوه عملکرد و اصول کلی مشترکند ولی با توجه به ساختار آند و کاتد در آنها حساسیت و دقت متفاوتی را می توان از آنها دید.

فشارسنج يونيزاسيون با کاتد سرد قادر است به طور معمول فشارهاي بينtorr  ۳–۱۰  تا torr  ۶–۱۰    را اندازه­گيري کند.

مشخصات فنی

گستره سنجش فشار (torr)3×10E-4 – 10E-6

فشار نهایی (torr)10E-6

تغذيه ورودي (V)۱۵

ارتباط الکتريکیRJ45

دهانه اتصال خلأDN25