سامانه لایه نشانی کند و پاش/ تبخیر حرارتی

سامانه های لایه نشانی سری سیگما، قابلیت ایجاد پوشش های مختلف با روش کند و پاش یا تبخیر حرارتی را دارند. بخش تخلیه در این سامانه شامل پمپ روتاری و پمپ توربو مولکولی است که برای کاربردهای آزمایشگاهی و تحقیق و توسعه مناسب می باشد. این سامانه دارای محفظه شیشه ای به همراه یک مسیر تخلیه است و به همین دلیل قیمت آن سامانه نسبت به سامانه های سری امگا پایین تر می باشد

مشخصات فنی

فشار نهایی X10E – 6 torrدارای فشارسنج پیرانی

محفظه استوانه ای پیرکس با قطر 30cmنگهدارنده نمونه چرخان موتوری

بخش تخلیه: پمپ روتاری موتور توربو مولکولی DN63کنترل شونده PLC به صورت اتوماتیک

اندازه گیری ضخامت بوسیله ضخامت سنج کریستالیدارای سامانه کنترلی با مانیتور لمسی تمام رنگی