سامانه لایه نشانی کند و پاش/تبخیر حرارتی مقاومتی/تبخیر با اشعه الکترونی

سامانه های سری امگا در ده نوع طراحی و ساخته می شوند و بنا به سفارش، دارای یک یا سه روش لایه نشانی از جمله: کند و پاش DC، کند و پاش RF، تبخیر حرارتی مقاومتی و تبخیر با اشعه الکترونی می باشد. این سامانه ها دارای محفظه استوانه ای با جنس استیل   304 با درب بازشونده از جلو می باشد که دسترسی به تمامی قسمت های داخلی محفظه را آسان می سازد. مسیرهای تخلیه مستقیم (Roughing)  و پشتی (backing) به همراه شیر خلا بالای الکتروپنوماتیک و پمپ دیفیوژن با سرعت تخلیه 700 Lit/s از دیگر ویژگی های این سامانه است.

مشخصات فنی

فشار نهایی X10E – 6 torrنگهدارنده نمونه چرخان موتوری

کنترل شونده با PLC به صورت اتوماتیکدارای فشار سنج های کاتد سرد و پیرانی

محفظه استوانه ای استیل با قطر حدودی 40cmدارای سامانه گرم کن تا دمای ۱۵۰ درجه سانتیگراد

بخش تخلیه: پمپ روتاری و پمپ دیفیوژن DP150شیرهای خلا بالا، مسیر مستقیم و پشتی الکتروپنوماتیک

اندازه گیری ضخامت بوسیله ضخامت سنج کریستالیدو مسیر برای تخلیه محفظه به منظور کاهش زمان تخلیه

دارای سامانه کنترلی با مانیتور لمسی تمام رنگی