سامانه لایه نشانی قوس کاتدی ۸۰۰

این سامانه برای ایجاد پوشش های سخت با روش قوس کاتدی طراحی و ساخته شده است. این پوشش ها که دارای مشخصاتی از جمله سختی بالا، ضریب اصطکاک پایین و مقاومت به خوردگی می باشند در صنایع قالبسازی، ابزارسازی و تولید قطعات صنعتی کاربرد دارند. لایه های TiCN،AlCrN، ZrN،TiN، CrN از جمله مواردی هستند که با این دستگاه می توان پوشش دهی کرد.

مشخصات فنی

محفظه خلا استوانه ای H100 cm * ∅80cmقابلیت چرخاننده نمونه با قابلیت تنظیم سرعت چرخش

دارای سامانه گرم کن تا دمای ۲۵۰ درجه سانتیگراد
دارای سامانه کنترلی با مانیتور صفحه لمسی تمام رنگی

دارای سه MFC مجزا جهت کنترل گازهای فرآینددارای بایاس زیرلایه با منبع پالسی

دارای ۸ کاتد آرک با تارگت ۳ اینچیدارای سامانه تمیزکاری با پلاسما

فشار نهایی X10E – 5 torr