سامانه لایه نشانی قوس کاتدی ۲۳۰۰

این سامانه برای پوشش دهی ورق ها و لوله های استیل (به طول ۳ متر) برای اهداف تزئینی طراحی و ساخته شده است. حجم بالای محفظه در کنر استفاده از پمپ های روتس، روتاری و دیفیوژن با سرعت تخلیه بالا امکان بهره برداری هر چه بیشتر از این سامانه را فراهم آورده است.

امکان پوشش دهی بر روی انواع فلزات، سرامیک، شیشه
امکان لایه نشانی لایه های مختلف از جمله :

Ti, TiN, TiCN, Zr,ZrN,Cr,CrN

مشخصات فنی

محفظه خلا استوانه ای L360 CM * ∅230 CMدارای چرخاننده نمونه با قابلیت تنظیم سرعت چرخش

دارای سامانه گرم کن تا دمای ۲۰۰ درجه سانتی گراد
دارای سامانه کنترلی با مانیتور صفحه لمسی تمام رنگی

دارای سه MFC جهت کنترل گازهای فرآینددارای بایاس زیرلایه با منبع پالسی

دارای ۳۹ کاتد آرک با تارگت ۳ اینچیدارای سامانه تمیزکاری با پلاسما

فشار نهایی X10E – 5 torr