سامانه لایه نشانی رومیزی

این سامانه برای ایجاد لایه های نازک نانومتری با روش کند و پاش مگنترونی طراحی و ساخته شده است. منبع تغذیه این سامانه از نوع ولتاژبالای DC می باشد و امکان لایه نشانی برخی مواد فلزی نوبل مانند طلا، نقره و پلاتین را ایجاد می کند. سادگی عملکرد این سامانه، امکان کار با آن را برای بسیاری از کاربران فراهم آورده است. این سامانه علاوه بر کاربردهای آموزشی، به عنوان دستگاه مناسب آماده سازی نمونه های SEM محسوب می شود. این سامانه  در دو مدل Epsion و Epsilon+ طراحی شده است. مدل Epsilon+ علاوه بر قابلیت های سامانه Epsilon، امکان عملیات سطحی با استفاده از پلاسما (plasma trearment) را فراهم می نماید.

مشخصات فنی

فشار نهایی X10E – 2 torrدارای فشارسنج پیرانی

بخش تخلیه: پمپ روتاری دو مرحله ایولتاژ پالسی با توان بیشینه ۱۰۰ وات

کنترل شونده PLC به صورت اتوماتیکمنبع تغذیه DC توان 150 وات و ولتاژ قابل تنظیم

محفظه استوانه ای پیرکس با قطر 15cmدارای شیر سوزنی برای تنظیم مقدار گاز ورودی

اندازه گیری ضخامت بوسیله ضخامت سنج کریستالیکاتد کندوپاش از نوع مگنترون با قطر تارگت ۲ اینچی

دارای سامانه کنترلی با مانیتور لمسی تمام رنگیسامانه فاظت دمایی برای جلوگیری از آسیب کند و پاش