دستگاه LPCVD از رکن های اصلی آزمایشگاه هایی است که در زمینه ی نانوالکترونیک و یا سیستم های الکترومکانیکی فعالیت می کنند می باشد. لایه ی پلی سیلیکان هم به عنوان گیت ترانزیستورها به کار می رود و هم به عنوان لایه ی قربانی در فرآیندهای ماشین کاری بدنه. برای زدایش کامل قرص سیلیکان و ایجاد غشاء سیلیکانی نیاز به لایه ی محافظ نایتراید سیلیکان می باشد. اکسید سیلیکان نیز که از اجزای اصلی پروسه های MEMS می باشد.
با توجه به کاربردهای وسیع این دستگاه, اولین نمونه ی آن در اختیار آزمایشگاه نانوالکترونیک دانشگاه تهران قرار گرفت.
دستگاه LPCVD از رکن های اصلی آزمایشگاه هایی است که در زمینه ی نانوالکترونیک و یا سیستم های الکترومکانیکی فعالیت می کنند می باشد. لایه ی پلی سیلیکان هم به عنوان گیت ترانزیستورها به کار می رود و هم به عنوان لایه ی قربانی در فرآیندهای ماشین کاری بدنه. برای زدایش کامل قرص سیلیکان و ایجاد غشاء سیلیکانی نیاز به لایه ی محافظ نایتراید سیلیکان می باشد. اکسید سیلیکان نیز که از اجزای اصلی پروسه های MEMS می باشد.
با توجه به کاربردهای وسیع این دستگاه, اولین نمونه ی آن در اختیار آزمایشگاه نانوالکترونیک دانشگاه تهران قرار گرفت.
فروشنده | توسعه حسگرسازان آسیا |
حداقل تعداد سفارش | |
حداقل قیمت | |
حداکثر قیمت | |
شرایط تحویل | |
زمان تحویل |
LPCVD
نظرات