یونیت نیمه اتوماتیک فرآیند لیتوگرافی، انطباق و نوردهی

این سامانه شامل تمام مراحل و فرایند های لیتوگرافی است که به عنوان یک ازمایشگاه کوچک میکرو فلوئودیک مطرح است و خریدار با در اختیار داشتن این دستگاه قادر به انجان تمام فرایند های لیتوگرافی است. این سامانه دارای اسپین کوتر و هات پلیت و سیستم نوردهی و انطباق هست که همه این اجزا در یک محفظه ایزوله قرار دارد. خریدار در دو حالت این دستگاه را می تواند سفارش دهد: حالت اول: سامانه شامل اسپین کوتر، پخت و باز پخت، تولید ماسک اپتیکی به روش کوچک سازی، لیتوگرافی تماسی بدون سامانه الاینر
حالت دوم: سامانه شامل اسپین کوتر، پخت و باز پخت، لیتوگرافی ماسک الاینر
- استفاده به عنوان یک یونیت یکپارچه فرایند لیتوگرافی به همراه سیتم انطباق ماسک
- ایجاد الگوهای مورد نظر روی بسترهای مسطح و انطباق روی الگوی از قبل تعیین شده.
- انجام پوشش دهی سطوح با پلیمرهای مختلف (قسمت اسپین کوتر)
- انجام نوردهی مستقیم