سامانه لایه نشانی کند و پاش ۱۶۰۰

این سامانه صنعتی دارای دو کاتد اسپاترینگ (کند و پاش) از نوع منگنترون می باشد که تارگت های تخت مستطیلی روی آن نصب شده و امکان لایه نشانی مواد مختلف از جمله کروم، نقره، طلا را بر روی انواع فلزات، سرامیک، شیشه و پلاستیک فراهم می آورد. حجم بالای محفظه خلا این سامانه و چرخش نگهدارنده نمونه، بارگذاری تعداد زیادی قطعه را میسر کرده است. همچنین استفاده از پمپ روتس بهمراه پمپ روتاری و پمپ دیفیوژن شرایط بهره برداری در کمترین زمان را برای این سامانه فراهم آورده است. این سامانه به گونه ای طراحی شده است که امکان فعال بودن شبانه روزی و پوشش دهی مداوم را داشته باشد.

این سامانه با دارا بودن تجهیزات تمیزکاری پلاسما قبل از شروع پوشش دهی می توان سطح قطعات را به صورت دقیق و اتمی تمیز نماید و چسبندگی لایه را تا چندین برابر افزایش دهد.

مشخصات فنی

محفظه خلا استوانه ای H180 CM * ∅160 CMقابلیت چرخاننده نمونه با قابلیت تنظیم سرعت چرخش

دارای 2 کاتد اسپاترینگ با تارگت تخت مستطیلی 140*20 cm²
دارای سامانه کنترلی با مانیتور صفحه لمسی تمام رنگی

دارای MFC جهت کنترل گازهای فرآینددارای سامانه تمیزکاری با پلاسما

فشار نهایی X10E – 5 torr