میکرومانیپولاتور

میکرو درایو دارای دوحرکت در راستای محور z می باشد. حرکت اول به صورت دستی قابل کنترل میباشد و از لیدراسکرو با گام حرکتی 4 میلی متر استفاده شده است. جابجایی با این حرکت 50 میلی متر است و برای جابجایی های زیاد و با دقت کم کاربرد دارد ، این حرکت، الکترود و مکانیزم حرکت دوم را با یکدیگر جابجا میکند. حرکت دوم در میکرو درایو برای جابجایی ها بسیار کم و با دقت بالا استفاده می گردد. با توجه به استفاده از استپر موتور، دقت این حرکت 10 میکرون است. جابجایی با استفاده از موتور در این حرکت 60 میلی متر می باشد.