دستگاه تبخیر حرارتی – DTT

دستگاه تبخیر حرارتی در خلاء با ابعاد بسیار مناسب در مدل رومیزی قادر است در طی کمتر از ۱۰ دقیقه  به فشار مورد نظر رسیده و عملیات لایه نشانی را از سه بوته یا بسکت مختلف شروع کند و اقدام به ساخت انواع لایه های مختلف نماید. قابلیت لایه نشانی از سه منبع تبخیر به صورت همزمان، امکان ایجاد لایه های آلیاژی توسط این دستگاه را فراهم آورده است.

DTT با دارا بودن امکان انتخاب منبع تبخیر (بوته – بسکت) مورد نظر در حین لایه نشانی، دارای قابلیت ساخت چندلایه ای می باشد.

پمپ پشتیبان روتاری دو مرحله ای

فشارسنج فول رنج (آلمانی)

قابلیت ایجاد چند لایه ای ها بدون شکستن خلاء

مجهز به سیستم انتخاب منبع تبخیر برای ایجاد چند لایه ای ها

محفظه خلاء با ابعاد بزرگ

مجهز به سه نگهدارنده بوته و فیدتروهای الکتریکی مخصوص

قابلیت لایه نشانی همزمان از دو یا سه منبع تبخیر برای ایجاد آلیاژها

ضخامت سنج کریستال کوارتز با دقت اندازه گیری یک نانومتر شامل اسیلاتور و نگهدارنده کریستال با قابلیت اندازه گیری ضخامت در حین لایه نشانی

صفحه نمایش لمسی به منظور کنترل فرایند لایه نشانی و وارد کردن سریع اطلاعات

نرم افزاری با کاربری آسان و قابلیت به روز رسانی از طریق شبکه

نگهدارانده زیر لایه با قابلیت چرخش

مجهز به هیتر زیرلایه ۵۰۰ درجه سانتیگراد

مجهز به شاتر الکترونیکی

بسته بندی استاندارد به منظور اطمینان از عدم آسیب دیدگی دستگاه در حین حمل

یک سال گارانتی کامل

کاربردها

ساخت لایه های نازک از فلزات و دی الکتریک ها

نانو و میکروالکترونیک

لایه های نوری و چند لایه ای های اپتیکی

سلول های خورشیدی

سنسورهای لایه نازک

تجهیزات اضافه و لوازم جانبی

منبع تغذیه جریان بالا

منابع تبخیر حرارتی (بوته، بسکت، سیم پیچ)

مواد تبخیر شونده

هیتر ۵۰۰ درجه زیرلایه

سنسورکریستال کوارتز

MFC برای کنترل دقیق گاز ورودی به محفظه

شیشه یدک محفظه خلاء به همراه لاستیک های آب بندی دور شیشه

سایر مشخصات دستگاه

قابلیت رسم نمودارهای فشار و ضخامت در حین لایه نشانی

مجهز به فیدتروهای الکتریکی جریان بالای آبگرد

منبع تغذیه جریان بالا

دارای پورت USB برای انتقال اطلاعات

ابعاد: قطر ۵۰سانتی متر × عرض ۶۵سانتی متر ×  ارتفاع ۶۰ سانتی متر

برق ورودی: ۲۲۰V- 50HZ- 16A

وزن حدود Kg 60

صفحه نمایش رنگی

دستگاه مجهز به یک مانیتور لمسی ۷ اینچی تمام رنگی می باشد که تمام فرایندهای کنترل دستگاه از طریق آن انجام می شود. با توجه به کاربری ساده نرم افزار سیستم، کاربر می تواند اطالاعات لازم را به راحتی و از طریق این صفحه نمایش وارد کند و یا اطلاعات مربوط به فرایند لایه نشانی (فشار، ضخامت، نرخ لایه نشانی و …) را در حین فرایند به صورت نمودار و یا دیتا مشاهده نماید. همچنین دستگاه توانایی ثبت اطلاعات مربوط به ۳۰۰ لایه نشانی آخر را دارا می باشد.

منابع تبخیر (سبد، قایقک، سیم پیچ)

دستگاه لایه نشانی در خلاء به روش تبخیر حرارتی مدل DTT دارای قابلیت نصب سه منبع تبخیر حرارتی مقاومتی مستقل  با بازه طولی ۵ تا ۹ سانتی متر می باشد. این منایع به صورتی طراحی شده اند که یکدیگر را آلوده نمی کنند.