دستگاه اسپاترینگ سه کاتده و تبخیر حرارتی – DST3-T

دستگاه مجهز به سه کاتد مگنترون آبگرد ۲ اینچی و محفظه خلاء بزرگ است که این سیستم را برای لایه نشانی طولانی مدت مناسب می سازد. به منظور افزایش چسبندگی لایه نازک لایه نشانی شده به زیرلایه، امکان اعمال ۳۰۰ ولت ولتاژ بایاس به زیرلایه و همچنین امکان تمیز کردن سطح زیرلایه با پلاسما نیز وجود دارد (در صورت در خواست). DST3-T مجهز به یک منبع تغذیه RF به همراه مچینگ باکس اتوماتیک است که امکان لایه نشانی دی الکتریک ها را نیز فراهم می آورد.

DST3-T با توجه به حالت قرار گرفتن کاتدهای آن دارای دو مدل می باشد:

DST3-TA – کاتدهای با زاویه

مدل DST3-TA با بکارگیری سه کاتد زاویه دار با نقطه کانونی مشترک، قادر به انجام لایه نشانی مستقل یا متمرکز و همزمان دو یا سه کاتد است و علاوه بر ساخت چند لایه ای ها امکان آلیاژ سازی را نیز فراهم می کند. قابلیت چرخش زیر لایه این سیستم باعث یکنواختی بسیار خوب لایه رشد داده شده می شود. همچنین به دلیل امکان زاویه دادن به زیر لایه نسبت به کاتدها می توان انواع لایه ها را به صورت ستونی رشد داد (Glad Sputtering). حداکثر قطر زیرلایه در این سیستم، ۳ اینچ است.

DST3-TS– کاتدهای خطی (یا مستقیم)

مدل DST3-TS با دارا بودن سه کاتد با قطر دو اینچ که بدون زاویه کنار یکدیگر قرار گرفته اند، برای لایه نشانی بر روی تک نمونه های بزرگ با قطری حدود ۲۰ سانتی متر و یا چندین قطعه با ابعاد کوچکتر در این محدوده مناسب می باشد. این دستگاه برای اطمینان از یکنواختی لایه در تمام سطح نمونه های بزرگ، مجهز به سه کاتد مگنترون گردیده است.

تبخیر حرارتی

دستگاه ترکیبی DST3-T مجهز یه یک منبع تغذیه جریان بالا و یک جفت الکترود مسی برای انجام لایه نشانی به روش تبخیر حرارتی است. انواع مختلفی از قایقک، بسکت و یا سیم پیچ قابل (Boat, Basket and coil) نصب بر روی این سیستم می باشند. دستگاه امکان لایه نشانی به روش تبخیر حرارتی رنج وسیعی از مواد را فراهم آورده است.

مشخصات دستگاه

امکان انجام اسپاترینگ و تبخیر حرارتی در یک سیستم (به صورت غیر همزمان)

محفظه خلاء بالا

مجهز به منابع تغذیه DC، RF و High current

سه کاتد آبگرد دو اینچی با قابلیت لایه نشانی فیلم های چند لایه ای و آلیاژها (Co-Sputtering)

یک عدد سامانه تبخیر حرارتی به منظور انجام لایه نشانی به روش تبخیر حرارتی

دو ضخامت سنج کریستالی کوارتز  شامل اسیلاتور و نگهدارنده کریستال با قابلیت اندازه گیری ضخامت در حین لایه نشانی

دو عدد MFC به منظور کنترل دقیق فشار داخل محفظه

کنترل فرآیند لایه نشانی بر اساس زمان یا ضخامت

صفحه نمایش لمسی به منظور کنترل فرایند لایه نشانی و وارد کردن سریع اطلاعات

نرم افزاری با کاربری آسان و قابلیت به روز رسانی از طریق شبکه

نگهدارنده زیرلایه با قابلیت چرخش و امکان تنظیم ارتفاع و زاویه

کنترل نرخ لایه نشانی با دقت یک نانومتر با استفاده از ضخامت سنج کریستالی

محفظه خلاء بزرگ (قطر ۳۰۰ میلیمتر) مناسب برای لایه نشانی نمونه های بزرگ

هیتر زیرلایه ۵۰۰ درجه (در صورت درخواست)

۳۰۰ ولت، ولتاژ بایاس زیرلایه (در صورت درخواست)

مجهز به شاتر الکترونیکی

مجهز به سیستم تمیزکننده سطح نمونه با استفاده از پلاسما (در صورت درخواست)

قابلیت لایه نشانی به صورت پیوسته بدون محدودیت زمانی یک سال گارانتی کامل

بسته بندی استاندارد به منظور اطمینان از عدم آسیب دیدگی دستگاه در حین حمل

کاربردها

ایجاد لایه نازک هایی از جنس فلزات، نیمه هادی ها و دی الکتریک ها

زمینه های نانو و میکرو الکترونیک

ساخت سلول های خورشیدی

فرایند لایه نشانی آلیاژها (Co-Sputtering)

اپتیک و فوتونیک

سنسورهای لایه نازک

ساخت حافظه های رایانه ای

آماده سازی نمونه های میکروسکوپ  الکترونی

محفظه خلاء بالا

محفظه خلاء دستگاه شامل یک مخزن استوانه ای از جنس پیرکس به قطر mm300 و ارتفاع  mm 250 همراه با اورینگهای ال شکل می باشد. دستگاه مجهز به پمپ توربومولکولار خلاء بالا می باشد که توسط یک پمپ روتاری دو مرحله ای پشتیبانی می شود و در نتیجه هیچ گونه آلودگی ناشی از روغن (که از ویژگی های پمپ های دیفیوژنی است)  وارد محفظه خلاء نمی شود و لایه نشانی در یک محیط بسیار تمیز انجام می شود.

صفحه نمایش رنگی

دستگاه مجهز به یک مانیتور لمسی ۷ اینچی تمام رنگی می باشد که تمام فرایندهای کنترل دستگاه از طریق آن انجام می شود. با توجه به کاربری ساده این نرم افزار، کاربر می تواند اطالاعات لازم را به راحتی و از طریق این صفحه نمایش وارد کند و یا اطلاعات مربوط به فرایند لایه نشانی (فشار، ضخامت، نرخ لایه نشانی و …) را در حین فرایند به صورت نمودار و یا دیتا مشاهده نماید. همچنین دستگاه توانایی ثبت اطلاعات مربوط به ۳۰۰ لایه نشانی آخر را دارا می باشد. کاربر می تواند از طریق این صفحه نمایش، فرایند لایه نشانی را بر اساس ضخامت یا زمان تنظیم کرده و پس از رسیدن به زمان یا ضخامت مورد نظر عملیات لایه نشانی به صورت خودکار متوقف می شود.