دستگاه اسپاترینگ رومیزی خلاء بالا – DST1-300

محفظه از جنس پیرکس با ارتفاع  mm 250 و قطر خارجی mm 300

دارای یک کاتد مگنترون آبگرد (۲،۳ یا ۴) اینچی

دو عدد MFC به منظور کنترل دقیق فشار داخل محفظه

منبع تغذیه DC  با توان ۶۰۰ وات

نگهدارانده زیر لایه با قابلیت چرخش

کنترل فرآیند لایه نشانی بر اساس زمان یا ضخامت

قابلیت نگهداری نمونه ها در خلاء

قابلیت رسم نمودارهای فشار و ضخامت در حین لایه نشانی

شاتر الکترونیکی

برق ورودی: ۲۲۰V- 50HZ- 16A

وزن: ۵۰ کیلوگرم

مشخصات دستگاه

پمپ توربومولکولار خلاء بالا (آلمانی)

سرعت پمپاژ۹۰ l/s۳۵۰ l/s

 فشار نهایی۷ x10-۶ Torr۷ x10-۷ Torr

پمپ پشتیبان روتاری دو مرحله ای

فشارسنج فول رنج (آلمانی)

ضخامت سنج کریستالی کوارتز  شامل اسیلاتور و نگهدارنده کریستال با قابلیت اندازه گیری ضخامت در حین لایه نشانی

کنترل نرخ لایه نشانی با دقت یک نانومتر با استفاده از ضخامت سنج کریستالی

صفحه نمایش لمسی به منظور کنترل فرایند لایه نشانی و وارد کردن سریع اطلاعات

نرم افزاری با کاربری آسان و قابلیت به روز رسانی از طریق شبکه

قابلیت رسم نمودارهای فشار و ضخامت در حین لایه نشانی

دارای پورت USB برای انتقال اطلاعات

مجهز به شاتر الکترونیکی

یک سال گارانتی کامل

بسته بندی استاندارد به منظور اطمینان از عدم آسیب دیدگی دستگاه در حین حمل

تجهیزات اضافه و لوازم جانبی

ولتاژ بایاس زیرلایه

منبع تغذیه RF و مچینگ باکس

هیتر ۵۰۰ درجه ای زیرلایه

یک جفت الکترود جهت انجام تبخیر حرارتی

سنسورکریستال کوارتز

شیشه یدک محفظه خلاء به همراه لاستیک های آب بندی دور شیشه

تارگت های اسپاترینگ

صفحه نمایش رنگی

دستگاه مجهز به یک مانیتور لمسی ۷ اینچی تمام رنگی می باشد که تمام فرایندهای کنترل دستگاه از طریق آن انجام می شود. با توجه به کاربری ساده این نرم افزار، کاربر می تواند اطالاعات لازم را به راحتی و از طریق این صفحه نمایش وارد کند و یا اطلاعات مربوط به فرایند لایه نشانی (فشار، ضخامت، نرخ لایه نشانی و …) را در حین فرایند به صورت نمودار و یا دیتا مشاهده نماید. همچنین دستگاه توانایی ثبت اطلاعات مربوط به ۳۰۰ لایه نشانی آخر را دارا می باشد. کاربر می تواند از طریق این صفحه نمایش، فرایند لایه نشانی را بر اساس ضخامت یا زمان تنظیم کرده و پس از رسیدن به زمان یا ضخامت مورد نظر عملیات لایه نشانی به صورت خودکار متوقف می شود.

محفظه خلاء بالا

محفظه خلاء دستگاه شامل یک مخزن استوانه ای از جنس پیرکس به قطر mm300 و ارتفاع  mm 250 همراه با اورینگهای ال شکل می باشد. دستگاه مجهز به پمپ توربومولکولار خلاء بالا می باشد که توسط یک پمپ روتاری دو مرحله ای پشتیبانی می شود و در نتیجه هیچ گونه آلودگی ناشی از روغن (که از ویژگی های پمپ های دیفیوژنی است)  وارد محفظه خلاء نمی شود و لایه نشانی در یک محیط بسیار تمیز انجام می شود.