24326

PLD

فرایند لایه نشانی فیزیکی از فاز بخار است که توسط پالس لیزر در خلاء انجام می‌شود.در این روش با تمرکز پالس لیزر بر روی نمونه، مقدار کمی از ماده تبخیر یا کنده می‌شود و در پلوم پلاسمایی ایجاد شده ذرات به سمت زیرلایه حرکت می‌کنند. با رسیدن این ذرات به سطح زیرلایه (که معمولاٌ در حین آزمایش گرم می‌شود) و پیوستن به یکدیگر با تشکیل جزایر و خوشه‌ها،لایه‌ی نازک شکل می‌گیرد.لایه نشانی بوسیله‌ی سیستم‌های تبخیری یا کند‌وپاش برای ترکیباتی که دارای عناصر زیادی هستند به دلیل تفاوت دمای جوش و فشار بخار عناصر مختلف در یک ترکیب، امکان پذیر نیست.بزرگترین مزیت روش PLD حفظ استوکیومتری بین ماده هدف و لایه نازک می‌باشد و می‌توان از آن برای لایه نشانی انواع فلزات، اکسیدها، نیتریدها، کربیدها و حتی پلیمرها استفاده کرد.

 

فشار نهاییmbar 6-10

مجهز به هیتر زیرلایه°c 400

محفظه تمام استیل 6 لیتری

مجهز به پمپ توربو 80 لیتر بر ثانیه

دارای سه پنجره اپتیکی از جنس پیرکس

فشارسنج دوبل با قابليت قرائت فشار از اتمسفر تا mbar 9-10

نگهدارنده و چرخاننده تارگت‌ها با قابلیت تنظیم سرعت چرخش

نمایش بیشتر...

فرایند لایه نشانی فیزیکی از فاز بخار است که توسط پالس لیزر در خلاء انجام می‌شود.در این روش با تمرکز پالس لیزر بر روی نمونه، مقدار کمی از ماده تبخیر یا کنده می‌شود و در پلوم پلاسمایی ایجاد شده ذرات به سمت زیرلایه حرکت می‌کنند. با رسیدن این ذرات به سطح زیرلایه (که معمولاٌ در حین آزمایش گرم می‌شود) و پیوستن به یکدیگر با تشکیل جزایر و خوشه‌ها،لایه‌ی نازک شکل می‌گیرد.لایه نشانی بوسیله‌ی سیستم‌های تبخیری یا کند‌وپاش برای ترکیباتی که دارای عناصر زیادی هستند به دلیل تفاوت دمای جوش و فشار بخار عناصر مختلف در یک ترکیب، امکان پذیر نیست.بزرگترین مزیت روش PLD حفظ استوکیومتری بین ماده هدف و لایه نازک می‌باشد و می‌توان از آن برای لایه نشانی انواع فلزات، اکسیدها، نیتریدها، کربیدها و حتی پلیمرها استفاده کرد.

 

فشار نهاییmbar 6-10

مجهز به هیتر زیرلایه°c 400

محفظه تمام استیل 6 لیتری

مجهز به پمپ توربو 80 لیتر بر ثانیه

دارای سه پنجره اپتیکی از جنس پیرکس

فشارسنج دوبل با قابليت قرائت فشار از اتمسفر تا mbar 9-10

نگهدارنده و چرخاننده تارگت‌ها با قابلیت تنظیم سرعت چرخش

نمایش کمتر...