شرکـت پوشــش‌های نانو ساختـار

دستگاه تبخیر حرارتی در خلاء با ابعاد بسیار مناسب در مدل رومیزی قادر است در طی کمتر از ۱۰ دقیقه  به فشار مورد نظر رسیده و عملیات لایه نشانی را از سه بوته یا بسکت مختلف شروع کند و اقدام به ساخت انواع لایه های مختلف نماید. قابلیت لایه نشانی از سه منبع تبخیر به صورت همزمان، امکان ایجاد لایه های آلیاژی توسط این دستگاه را فراهم آورده است.DTT با دارا بودن امکان انتخاب منبع تبخیر (بوته – بسکت) مورد نظر در حین لایه نشانی، دارای قابلیت ساخت چندلایه ای می باشد.پمپ پشتیبان روتاری دو مرحله ایفشارسنج فول رنج (آلمانی)قابلیت ایجاد چند لایه ای ها بدون شکستن خلاءمجهز به سیستم انتخاب منبع تبخیر برای ایجاد چند لایه ای هامحفظه خلاء با ابعاد بزرگمجهز به سه نگهدارنده بوته و فیدتروهای الکتریکی مخصوصقابلیت لایه نشانی همزمان از دو یا سه منبع تبخیر برای ایجاد آلیاژهاضخامت سنج کریستال کوارتز با دقت اندازه گیری یک نانومتر شامل اسیلاتور و نگهدارنده کریستال با قابلیت اندازه گیری ضخامت در حین لایه نشانیصفحه نمایش لمسی به منظور کنترل فرایند لایه نشانی و وارد کردن سریع اطلاعاتنرم افزاری با کاربری آسان و قابلیت به روز رسانی از طریق شبکهنگهدارانده زیر لایه با قابلیت چرخشمجهز به هیتر زیرلایه ۵۰۰ درجه سانتیگرادمجهز به شاتر الکترونیکیبسته بندی استاندارد به منظور اطمینان از عدم آسیب دیدگی دستگاه در حین حملیک سال گارانتی کاملکاربردهاساخت لایه های نازک از فلزات و دی الکتریک هانانو و میکروالکترونیکلایه های نوری و چند لایه ای های اپتیکیسلول های خورشیدیسنسورهای لایه نازکتجهیزات اضافه و لوازم جانبیمنبع تغذیه جریان بالامنابع تبخیر حرارتی (بوته، بسکت، سیم پیچ)مواد تبخیر شوندههیتر ۵۰۰ درجه زیرلایهسنسورکریستال کوارتزMFC برای کنترل دقیق گاز ورودی به محفظهشیشه یدک محفظه خلاء به همراه لاستیک های آب بندی دور شیشهسایر مشخصات دستگاهقابلیت رسم نمودارهای فشار و ضخامت در حین لایه نشانیمجهز به فیدتروهای الکتریکی جریان بالای آبگردمنبع تغذیه جریان بالادارای پورت USB برای انتقال اطلاعاتابعاد: قطر ۵۰سانتی متر × عرض ۶۵سانتی متر ×  ارتفاع ۶۰ سانتی متربرق ورودی: ۲۲۰V- 50HZ- 16Aوزن حدود Kg 60صفحه نمایش رنگیدستگاه مجهز به یک مانیتور لمسی ۷ اینچی تمام رنگی می باشد که تمام فرایندهای کنترل دستگاه از طریق آن انجام می شود. با توجه به کاربری ساده نرم افزار سیستم، کاربر می تواند اطالاعات لازم را به راحتی و از طریق این صفحه نمایش وارد کند و یا اطلاعات مربوط به فرایند لایه نشانی (فشار، ضخامت، نرخ لایه نشانی و …) را در حین فرایند به صورت نمودار و یا دیتا مشاهده نماید. همچنین دستگاه توانایی ثبت اطلاعات مربوط به ۳۰۰ لایه نشانی آخر را دارا می باشد.منابع تبخیر (سبد، قایقک، سیم پیچ)دستگاه لایه نشانی در خلاء به روش تبخیر حرارتی مدل DTT دارای قابلیت نصب سه منبع تبخیر حرارتی مقاومتی مستقل  با بازه طولی ۵ تا ۹ سانتی متر می باشد. این منایع به صورتی طراحی شده اند که یکدیگر را آلوده نمی کنند.

DST3، یک سیستم لایه نشانی در خلاء به روش اسپاترینگ(کند و پاش) با محفظه شیشه‌ای و پمپ توربومولکولار می‌باشد. این Triple Target Sputter Coater ، مجهز به سه کاتد مگنترون آبگرد دو اینچی بوده و با دارا بودن منابع تغذیه RF و DC، قادر به لایه نشانی گروه وسیعی از مواد شامل فلزات اکسیدی و غیر‌اکسیدی(جدول لایه نشانی مواد)، نیمه هادی‌ها و سرامیک‌ها می‌باشد. دستگاه اسپاترینگ سه کاتده دارای محفظه خلاء بزرگی است که این سیستم را برای لایه نشانی طولانی مدت مناسب می‌سازد. به منظور افزایش چسبندگی لایه نازک لایه نشانی شده به زیرلایه، امکان اعمال ۳۰۰ ولت ولتاژ بایاس به زیرلایه نیز وجود دارد(در صورت در خواست). DST3، مجهز به یک منبع تغذیه RF به همراه مچینگ باکس اتوماتیک است که امکان لایه نشانی دی‌الکتریک‌ها را نیز فراهم می‌آورد.کنترل خودکار توان لایه نشانی به صورت مستقل از فشارکنترل خودکار دمای کاتد‌ها در جهت بالا بردن طول عمر مگنت‌هامحفظه از جنس پیرکس با ارتفاع  mm 250 و قطر خارجی mm 300دو عدد MFC به منظور کنترل دقیق فشار داخل محفظهقابلیت نگهداری نمونه‌ها در خلاءقابلیت رسم نمودار‌های فشار و ضخامت در حین لایه نشانیشاتر الکترونیکیابعاد: قطر ۵۰سانتی متر × عرض ۴۷ سانتی متر ×  ارتفاع ۶۰ سانتی متربرق ورودی: ۲۲۰V- 50HZ- 16Aوزن همراه با راک حدود Kg 120

کنترل نرخ لایه نشانی با دقت یک نانومتر با استفاده از ضخامت‌سنج کریستالیصفحه نمایش لمسی به منظور کنترل فرایند لایه نشانی و وارد کردن سریع اطلاعاتنرم‌افزاری با کاربری آسان و قابلیت به‌روز‌رسانی از طریق شبکهقابلیت رسم نمودار‌های فشار و ضخامت در حین لایه نشانیدارای پورت USB برای انتقال اطلاعاتیک سال گارانتی کاملبسته‌بندی استاندارد به منظور اطمینان از عدم آسیب‌دیدگی دستگاه در حین حملدارای گواهی بین المللی CE برای اجازه ورود به بازار اتحادیه اروپاکاربردهای DSR1سیستم لایه نشانی در خلاء مدل DSR1 ، برای ایجاد لایه‌های نانومتری، ایجاد اتصالات الکتریکی بسیار ظریف در حوزه نانو‌تکنولوژی و ​میکرو‌الکترونیک بسیار قابل استفاده می‌باشد. اصلی‌ترین کاربرد این دستگاه به عنوان پوشش‌دهنده نمونه‌های عایق به‌منظور مشاهده آنها با میکروسکوپ الکترونی(SEM)، SEM Coater، می‌باشد. یکی دیگر از کاربردهای دستگاه DSR1، در آزمایشگاه‌های لایه نشانی، نانو‌تکنولوژی و الکترونیک بوده و ابزار آموزشی بسیار مناسبی برای آشنا نمودن دانشجویان و دانش‌آموزان با مقوله خلاء، پلاسما و لایه نشانی می‌باشد.لازم به ذکر است برای لایه نشانی انواع فلزات اکسیدی و غیر اکسیدی، مدل DST1 که مجهز به پمپ توربو‌مولکولار می‌باشد، توصیه می‌گردد.صفحه نمایش رنگی DSR1دستگاه لایه نشانی به روش کند و پاش(اسپاترینگ) مدل DSR1 مجهز به یک مانیتور لمسی ۷ اینچی تمام رنگی می‌باشد که تمام فرایند‌های کنترل دستگاه از طریق آن انجام می‌شود. با توجه به کاربری ساده نرم افزار سیستم، کاربر می‌تواند اطالاعات لازم را به راحتی و از طریق این صفحه نمایش وارد کند و یا اطلاعات مربوط به فرایند لایه نشانی(فشار، ضخامت، نرخ لایه نشانی و …) را در حین فرایند به صورت نمودار و یا دیتا مشاهده نماید. همچنین دستگاه اسپاترینگ رومیزی یا Sputter Coater ، توانایی ثبت اطلاعات مربوط به ۳۰۰ لایه نشانی آخر را دارا می‌باشد.کاربر می‌تواند از طریق این صفحه نمایش، فرایند لایه نشانی را بر اساس ضخامت یا زمان تنظیم کرده و پس از رسیدن به زمان یا ضخامت مورد نظر عملیات لایه نشانی به صورت خودکار متوقف می‌شود.سیستم  چرخاننده زیر‌لایهچرخش زیر‌لایه در هنگام لایه نشانی به منظور یکنواختی لایه، از دیگر امکانات این دستگاه اسپاترینگ رومیزی یا Sputter Coater می‌باشد. همچنین دستگاه قابلیت مجهز شدن به سیستم چرخاننده سیاره‌ای زیر‌لایه را نیز دارا می‌باشد. حرکت سیاره‌ای(در سه جهت x,y,z) موجب می‌شود تا درون حفره‌های نمونه‌های متخلخل نیز به خوبی پوشش داده شوند. نگهدارنده نمونه، می‌تواند متناسب با نیاز مشتری طراحی و تحویل داده شود. تعویض و جایگذاری نگهدارنده‌های نمونه در دستگاه DSR1 بسیار ساده بوده و کاربر به سادگی قادر به انجام آن می‌باشد.تجهیزات اضافه و لوازم جانبی DSR1سنسور کریستال کوارتزچرخاننده نمونه سیاره‌ایشیشه یدک محفظه خلاء همراه با لاستیک‌های آب‌بندی دور شیشهتارگت‌های اسپاترینگسایر مشخصات دستگاه اسپاترینگ رومیزیپمپ روتاری دو مرحله‌ای m۳/h4فشار نهایی کمتر از ۴۰ میلی‌تورمحفظه از جنس پیرکس با ارتفاع mm 140 و قطر خارجی mm 170دارای یک کاتد مگنترون دو اینچیمنبع تغذیه سوئیچینگ DC با توان ۸۰ واتنگهدارانده زیر‌لایه با قابلیت چرخش دارای دو مد کنترل اتوماتیک و دستیکنترل فرآیند لایه نشانی بر اساس زمان یا ضخامتقابلیت نگهداری نمونه‌ها در خلاءتنظیم فشار داخل محفظه توسط شیر الکتریکیشاتر الکترونیکیابعاد: ۴۵۰*۵۰۰*۳۷۰ میلیمتروزن دستگاه همراه با پمپ ۴۲ کیلوگرم

محفظه از جنس پیرکس با ارتفاع  mm 250 و قطر خارجی mm 300دارای یک کاتد مگنترون آبگرد (۲،۳ یا ۴) اینچیدو عدد MFC به منظور کنترل دقیق فشار داخل محفظهمنبع تغذیه DC  با توان ۶۰۰ واتنگهدارانده زیر لایه با قابلیت چرخشکنترل فرآیند لایه نشانی بر اساس زمان یا ضخامتقابلیت نگهداری نمونه ها در خلاءقابلیت رسم نمودارهای فشار و ضخامت در حین لایه نشانیشاتر الکترونیکیبرق ورودی: ۲۲۰V- 50HZ- 16Aوزن: ۵۰ کیلوگرممشخصات دستگاهپمپ توربومولکولار خلاء بالا (آلمانی)سرعت پمپاژ۹۰ l/s۳۵۰ l/s فشار نهایی۷ x10-۶ Torr۷ x10-۷ Torrپمپ پشتیبان روتاری دو مرحله ایفشارسنج فول رنج (آلمانی)ضخامت سنج کریستالی کوارتز  شامل اسیلاتور و نگهدارنده کریستال با قابلیت اندازه گیری ضخامت در حین لایه نشانیکنترل نرخ لایه نشانی با دقت یک نانومتر با استفاده از ضخامت سنج کریستالیصفحه نمایش لمسی به منظور کنترل فرایند لایه نشانی و وارد کردن سریع اطلاعاتنرم افزاری با کاربری آسان و قابلیت به روز رسانی از طریق شبکهقابلیت رسم نمودارهای فشار و ضخامت در حین لایه نشانیدارای پورت USB برای انتقال اطلاعاتمجهز به شاتر الکترونیکییک سال گارانتی کاملبسته بندی استاندارد به منظور اطمینان از عدم آسیب دیدگی دستگاه در حین حملتجهیزات اضافه و لوازم جانبیولتاژ بایاس زیرلایهمنبع تغذیه RF و مچینگ باکسهیتر ۵۰۰ درجه ای زیرلایهیک جفت الکترود جهت انجام تبخیر حرارتیسنسورکریستال کوارتزشیشه یدک محفظه خلاء به همراه لاستیک های آب بندی دور شیشهتارگت های اسپاترینگصفحه نمایش رنگیدستگاه مجهز به یک مانیتور لمسی ۷ اینچی تمام رنگی می باشد که تمام فرایندهای کنترل دستگاه از طریق آن انجام می شود. با توجه به کاربری ساده این نرم افزار، کاربر می تواند اطالاعات لازم را به راحتی و از طریق این صفحه نمایش وارد کند و یا اطلاعات مربوط به فرایند لایه نشانی (فشار، ضخامت، نرخ لایه نشانی و …) را در حین فرایند به صورت نمودار و یا دیتا مشاهده نماید. همچنین دستگاه توانایی ثبت اطلاعات مربوط به ۳۰۰ لایه نشانی آخر را دارا می باشد. کاربر می تواند از طریق این صفحه نمایش، فرایند لایه نشانی را بر اساس ضخامت یا زمان تنظیم کرده و پس از رسیدن به زمان یا ضخامت مورد نظر عملیات لایه نشانی به صورت خودکار متوقف می شود.محفظه خلاء بالامحفظه خلاء دستگاه شامل یک مخزن استوانه ای از جنس پیرکس به قطر mm300 و ارتفاع  mm 250 همراه با اورینگهای ال شکل می باشد. دستگاه مجهز به پمپ توربومولکولار خلاء بالا می باشد که توسط یک پمپ روتاری دو مرحله ای پشتیبانی می شود و در نتیجه هیچ گونه آلودگی ناشی از روغن (که از ویژگی های پمپ های دیفیوژنی است)  وارد محفظه خلاء نمی شود و لایه نشانی در یک محیط بسیار تمیز انجام می شود.

دستگاه مجهز به سه کاتد مگنترون آبگرد ۲ اینچی و محفظه خلاء بزرگ است که این سیستم را برای لایه نشانی طولانی مدت مناسب می سازد. به منظور افزایش چسبندگی لایه نازک لایه نشانی شده به زیرلایه، امکان اعمال ۳۰۰ ولت ولتاژ بایاس به زیرلایه و همچنین امکان تمیز کردن سطح زیرلایه با پلاسما نیز وجود دارد (در صورت در خواست). DST3-T مجهز به یک منبع تغذیه RF به همراه مچینگ باکس اتوماتیک است که امکان لایه نشانی دی الکتریک ها را نیز فراهم می آورد.DST3-T با توجه به حالت قرار گرفتن کاتدهای آن دارای دو مدل می باشد:DST3-TA – کاتدهای با زاویهمدل DST3-TA با بکارگیری سه کاتد زاویه دار با نقطه کانونی مشترک، قادر به انجام لایه نشانی مستقل یا متمرکز و همزمان دو یا سه کاتد است و علاوه بر ساخت چند لایه ای ها امکان آلیاژ سازی را نیز فراهم می کند. قابلیت چرخش زیر لایه این سیستم باعث یکنواختی بسیار خوب لایه رشد داده شده می شود. همچنین به دلیل امکان زاویه دادن به زیر لایه نسبت به کاتدها می توان انواع لایه ها را به صورت ستونی رشد داد (Glad Sputtering). حداکثر قطر زیرلایه در این سیستم، ۳ اینچ است.DST3-TS– کاتدهای خطی (یا مستقیم)مدل DST3-TS با دارا بودن سه کاتد با قطر دو اینچ که بدون زاویه کنار یکدیگر قرار گرفته اند، برای لایه نشانی بر روی تک نمونه های بزرگ با قطری حدود ۲۰ سانتی متر و یا چندین قطعه با ابعاد کوچکتر در این محدوده مناسب می باشد. این دستگاه برای اطمینان از یکنواختی لایه در تمام سطح نمونه های بزرگ، مجهز به سه کاتد مگنترون گردیده است.تبخیر حرارتیدستگاه ترکیبی DST3-T مجهز یه یک منبع تغذیه جریان بالا و یک جفت الکترود مسی برای انجام لایه نشانی به روش تبخیر حرارتی است. انواع مختلفی از قایقک، بسکت و یا سیم پیچ قابل (Boat, Basket and coil) نصب بر روی این سیستم می باشند. دستگاه امکان لایه نشانی به روش تبخیر حرارتی رنج وسیعی از مواد را فراهم آورده است.مشخصات دستگاهامکان انجام اسپاترینگ و تبخیر حرارتی در یک سیستم (به صورت غیر همزمان)محفظه خلاء بالامجهز به منابع تغذیه DC، RF و High currentسه کاتد آبگرد دو اینچی با قابلیت لایه نشانی فیلم های چند لایه ای و آلیاژها (Co-Sputtering)یک عدد سامانه تبخیر حرارتی به منظور انجام لایه نشانی به روش تبخیر حرارتیدو ضخامت سنج کریستالی کوارتز  شامل اسیلاتور و نگهدارنده کریستال با قابلیت اندازه گیری ضخامت در حین لایه نشانیدو عدد MFC به منظور کنترل دقیق فشار داخل محفظهکنترل فرآیند لایه نشانی بر اساس زمان یا ضخامتصفحه نمایش لمسی به منظور کنترل فرایند لایه نشانی و وارد کردن سریع اطلاعاتنرم افزاری با کاربری آسان و قابلیت به روز رسانی از طریق شبکهنگهدارنده زیرلایه با قابلیت چرخش و امکان تنظیم ارتفاع و زاویهکنترل نرخ لایه نشانی با دقت یک نانومتر با استفاده از ضخامت سنج کریستالیمحفظه خلاء بزرگ (قطر ۳۰۰ میلیمتر) مناسب برای لایه نشانی نمونه های بزرگهیتر زیرلایه ۵۰۰ درجه (در صورت درخواست)۳۰۰ ولت، ولتاژ بایاس زیرلایه (در صورت درخواست)مجهز به شاتر الکترونیکیمجهز به سیستم تمیزکننده سطح نمونه با استفاده از پلاسما (در صورت درخواست)قابلیت لایه نشانی به صورت پیوسته بدون محدودیت زمانی یک سال گارانتی کاملبسته بندی استاندارد به منظور اطمینان از عدم آسیب دیدگی دستگاه در حین حملکاربردهاایجاد لایه نازک هایی از جنس فلزات، نیمه هادی ها و دی الکتریک هازمینه های نانو و میکرو الکترونیکساخت سلول های خورشیدیفرایند لایه نشانی آلیاژها (Co-Sputtering)اپتیک و فوتونیکسنسورهای لایه نازکساخت حافظه های رایانه ایآماده سازی نمونه های میکروسکوپ  الکترونیمحفظه خلاء بالامحفظه خلاء دستگاه شامل یک مخزن استوانه ای از جنس پیرکس به قطر mm300 و ارتفاع  mm 250 همراه با اورینگهای ال شکل می باشد. دستگاه مجهز به پمپ توربومولکولار خلاء بالا می باشد که توسط یک پمپ روتاری دو مرحله ای پشتیبانی می شود و در نتیجه هیچ گونه آلودگی ناشی از روغن (که از ویژگی های پمپ های دیفیوژنی است)  وارد محفظه خلاء نمی شود و لایه نشانی در یک محیط بسیار تمیز انجام می شود.صفحه نمایش رنگیدستگاه مجهز به یک مانیتور لمسی ۷ اینچی تمام رنگی می باشد که تمام فرایندهای کنترل دستگاه از طریق آن انجام می شود. با توجه به کاربری ساده این نرم افزار، کاربر می تواند اطالاعات لازم را به راحتی و از طریق این صفحه نمایش وارد کند و یا اطلاعات مربوط به فرایند لایه نشانی (فشار، ضخامت، نرخ لایه نشانی و …) را در حین فرایند به صورت نمودار و یا دیتا مشاهده نماید. همچنین دستگاه توانایی ثبت اطلاعات مربوط به ۳۰۰ لایه نشانی آخر را دارا می باشد. کاربر می تواند از طریق این صفحه نمایش، فرایند لایه نشانی را بر اساس ضخامت یا زمان تنظیم کرده و پس از رسیدن به زمان یا ضخامت مورد نظر عملیات لایه نشانی به صورت خودکار متوقف می شود.

در سیستم های لایه نشانی با استفاده از لیزر پالسی، در صورتی که پرتوی لیزر برای مدتی رو یک نقطه از تارگت تابیده شود، موجب آسیب دیدن آن نقطه و سوراخ شدن تارگت می شود. به همین جهت دستگاه PLD – T مجهز به یک سیستم نگهدارنده و چرخاننده تارگت ( target manipulator) است که قابلیت نگهداری سه تارگت با قطر ۲ سانتی متر را دارا می باشد.نگهدارنده و چرخاننده تارگت ها با قابلیت تنظیم سرعت چرخشمجهز به سه نگهدارنده بوته و فیدتروهای الکتریکی مخصوصضخامت سنج کریستال کوارتز با دقت اندازه گیری یک نانومتر شامل اسیلاتور و نگهدارنده کریستال با قابلیت اندازه گیری ضخامت در حین لایه نشانیصفحه نمایش لمسی به منظور کنترل فرایند لایه نشانی و وارد کردن سریع اطلاعاتنرم افزاری با کاربری آسان و قابلیت به روز رسانی از طریق شبکهنگهدارانده زیر لایه با قابلیت چرخشمجهز به هیتر زیرلایه ۵۰۰ درجه سانتیگرادمجهز به شاتر الکترونیکیمجهز به سیستم انتخاب بوته / بسکتبسته بندی استاندارد به منظور اطمینان از عدم آسیب دیدگی دستگاه در حین حملیک سال گارانتی کاملصفحه نمایش رنگیدستگاه مجهز به یک مانیتور لمسی ۷ اینچی تمام رنگی می باشد که تمام فرایندهای کنترل دستگاه از طریق آن انجام می شود. با توجه به کاربری ساده نرم افزار سیستم، کاربر می تواند اطالاعات لازم را به راحتی و از طریق این صفحه نمایش وارد کند و یا اطلاعات مربوط به فرایند لایه نشانی (فشار، ضخامت، نرخ لایه نشانی و …) را در حین فرایند به صورت نمودار و یا دیتا مشاهده نماید. همچنین دستگاه توانایی ثبت اطلاعات مربوط به ۳۰۰ لایه نشانی آخر را دارا می باشد.

کنترل نرخ لایه نشانی با دقت یک نانومتر و رزولوشن ۱ انگستروم  با استفاده از ضخامت سنج کریستالیلایه نشانی کربن به صورت دو مد پالسی یا فلشصفحه نمایش لمسی به منظور کنترل فرایند لایه نشانی و وارد کردن سریع اطلاعاتنرم افزاری با کاربری آسان و قابلیت به روز رسانی از طریق شبکهقابلیت رسم نمودارهای فشار و ضخامت در حین لایه نشانیدارای پورت USB برای انتقال اطلاعاتیک سال گارانتی کاملبسته بندی استاندارد به منظور اطمینان از عدم آسیب دیدگی دستگاه در حین حمللایه نشانی کربن از میله کربنی (Carbon Rod)دستگاه لایه نشان کربن خلاء بالا قابلیت لایه نشانی کربن از میله کربنی را نیز دارا می باشد (در صورت در خواست مشتری). برای این منظور یک منبع تغذیه جریان بالا (۰-۱۰۰ آمپر) که در خارج از جعبه دستگاه قرار می گیرد جایگزین منبع تغذیه جریان بالای داخلی دستگاه که به منظور لایه نشانی کربن از نخ کربنی تعبیه شده است، می شود.

مشاهده نرخ لایه نشانی با دقت یک نانومتر با استفاده از ضخامت سنج کریستالیلایه نشانی کربن به صورت دو مد پالسی یا فلشصفحه نمایش لمسی به منظور کنترل فرایند لایه نشانی و وارد کردن سریع اطلاعاتنرم افزاری با کاربری آسان و قابلیت به روز رسانی از طریق شبکهقابلیت رسم نمودارهای فشار و ضخامت در حین لایه نشانیدارای پورت USB برای انتقال اطلاعاتیک سال گارانتی کاملبسته بندی استاندارد به منظور اطمینان از عدم آسیب دیدگی دستگاه در حین حملدارای گواهی بین المللی CE برای اجازه ورود به بازار اتحادیه اروپاتجهیزات اضافه و لوازم جانبیسنسورکریستال کوارتزچرخاننده نمونه سیاره ایشیشه یدک محفظه خلاء همراه لاستیکهای آب بندی دور شیشهنخ کربنسایر مشخصات دستگاهپمپ روتاری دو مرحله ای   m۳/h 4فشار نهایی کمتر از ۵۰ میلی تورمحفظه از جنس پیرکس با ارتفاع  mm 140 و قطر خارجی mm 170ضخامت سنج با دقت اندازه گیری یک نانو مترمنبع تغذیه جریان بالانگهدارانده زیر لایه با قابلیت چرخشدارای دو مد کنترل اتوماتیک و دستیکنترل فرآیند لایه نشانی بر اساس زمان یا ضخامتقابلیت نگهداری نمونه ها در خلأتنظیم فشار داخل محفظه توسط شیر الکتریکیشاتر الکترونیکیابعاد: ۴۵۰*۵۰۰*۳۷۰ میلیمتروزن دستگاه همراه با پمپ ۴۶ کیلوگرملایه نشانی پالسی کربندستگاه لایه نشان کربن تحت خلاء، مجهز به یک منبع تغذیه جریان بالا می باشد که امکان لایه نشانی کربن در دو مد پالسی و یا فلش را فراهم می کند. در لایه نشانی پالسی کربن که فرایند لایه نشانی در خلال پالس های کوتاه صورت می پذیرد، کنترل فرایند لایه نشانی بهتر یوده و تعداد ذرات کربنی (در ابعاد میلیمتر) که ناخواسته روی نمونه می نشینند نسبت به روش های متداول کمتر می باشد.صفحه نمایش رنگیدستگاه لایه نشانی تحت خلاء کربن، مجهز به یک مانیتور لمسی ۷ اینچی تمام رنگی می باشد که تمام فرایندهای کنترل دستگاه از طریق آن انجام می شود. با توجه به کاربری ساده نرم افزار سیستم، کاربر می تواند اطالاعات لازم را به راحتی و از طریق این صفحه نمایش وارد کند و یا اطلاعات مربوط به فرایند لایه نشانی (فشار، ضخامت، نرخ لایه نشانی و …) را در حین فرایند به صورت نمودار و یا دیتا مشاهده نماید.همچنین دستگاه توانایی ثبت اطلاعات مربوط به ۳۰۰ لایه نشانی آخر را دارا می باشد. کاربر می تواند از طریق این صفحه نمایش، فرایند لایه نشانی را بر اساس ضخامت یا زمان تنظیم کرده و پس از رسیدن به زمان یا ضخامت مورد نظر عملیات لایه نشانی به صورت خودکار متوقف می شود.سیستم  چرخاننده زیر لایهچرخش زیرلایه در هنگام لایه نشانی به منظور یکنواختی لایه، از دیگر امکانات این سیستم کربن کوتر می باشد. همچنین دستگاه قابلیت مجهز شدن به سیستم چرخاننده سیاره ای زیرلایه را نیز دارا می باشد. حرکت سیاره ای ( در سه جهت x,y,z ) موجب می شود تا درون حفره های نمونه های متخلخل نیز به خوبی پوشش داده شوند. نگهدارنده نمونه می تواند متناسب با نیاز مشتری طراحی و تحویل داده شود. تعویض و جایگذاری نگهدارنده های نمونه در این دستگاه بسیار ساده بوده و کاربر به سادگی قادر به انجام آن می باشد.

دو عدد کاتد اسپاترینگ آبگرد با قابلیت نصب تارگت‌های دو اینچیپمپ خلاء توربومولکولار ۳۵۰ لیتر بر ثانیه ساخت شرکت آلمانی لیبولدفشارسنج فول رنج ساخت شرکت المانی لیبولدپمپ روتاری دو مرحله ای با ظرفیت ۱۲ متر مکعب بر ساعت (m3/h) همراه با فیلتر روغنمحفظه از جنس استیل به قطر ۴۰ سانتیمتر و ارتفاع ۵۰ سانتیمتر شامل دو پنجره دیدسه عدد چشمه تبخیر حرارتیدو عدد ضخامت‌سنج کریستالی با دقت اندازه گیری ۱ نانومترمنبع تغذیه تبخیر حرارتی با توان ۲ کیلو واتمنبع ولتاژ بالای اسپاترینگفیدترو‌های جریان بالادستگاه لایه نشان ترکیبی در خلاء مدل VCS100F یک سیستم لایه نشانی ترکیبی شامل مگنترون اسپاترینگ و تبخیر حرارتی می‌باشد. به دلیل بزرگ‌تر بودن ابعاد محفظه این دستگاه، نسبت به مدل‌های رومیزی مانند دستگاه اسپاترینگ رومیزی – DSR1 و دستگاه تبخیر حرارتی – DTT، سیستم تبخیر حرارتی و کاتد‌های اسپاترینگ هر دو روی کف محفظه تعبیه شده‌اند و عملیات لایه نشانی از سمت پایین به بالا انجام می‌گیرد. به همین دلیل، در دستگاه لایه نشان ترکیبی VCS100F بدون نیاز به ونت کردن محفظه میتوان به صورت پی‌در‌پی چند لایه‌ای‌ها را با هر دو روش تبخیر حرارتی و اسپاترینگ ایجاد کرد.ابعاد بزرگ‌تر و همچنین فلزی بودن محفظه خلاء VCS100F سبب می‌شود تا بتوان عملیات لایه نشانی به روش تبخیر حرارتی را در جریان‌های بالا‌تر و با مدت زمان طولانی‌تر انجام داد و همچنین کمتر نگران گرم شدن کف محفظه و جدار داخلی محفظه خلاء بود. به علاوه، ارتفاع زیاد محفظه سبب می‌شود تا در روش تبخیر حرارتی نمونه‌هایی با قطر تا ۸ اینچ را هم بتوان با یکنواختی خوبی لایه نشانی کرد.از مزایای دیگر دستگاه لایه نشان ترکیبی VCS100F میتوان به والو پروانه‌ای آن اشاره کرد که بر روی دهانه پمپ توربو نصب شده و بلافاصله بعد از پایان عملیات لایه نشانی اسپاترینگ بدون نیاز به خاموش کردن توربو یا انتظار برای متوقف شدن چرخش آن، میتوان محفظه را ونت کرد. 

دستگاه DSCR  با ابـعاد کوچک و قیمتی بسیار مناسب قادر است به روش اسپاترینگ اقدام به لایه نشانی هدفهایی از جنس فلزات نجیب مانند طلا، پلاتین و پالادیوم نماید و همچنین این دستگاه با قابلیت تجهیز به سیستم لایه نشان کربن امکان لایه نشانی کربن از نخ کربنی به روش تبخیر حرارتی را نیز فراهم می کند. این سیستم عمدتا به عنوان پوشش دهنده نمونه های میکروسکوپ الکترونی روبشی (SEM) در آزمایشگاه های تحقیقاتی مورد استفاده قرار می گیرد.  DSCR، یک لایه نشان مجهز به پمپ روتاری است که با دو درِ قابل تعویض امکان اسپاترینگ فلزات نجیب یا تبخیر حرارتی کربن را ایجاد می کند. انجام لایه نشانی در فرایندی تمام اتوماتیک این امکان را فراهم می آورد که حتی کاربران کم تجربه نیز به راحتی بتوانند با این سیستم به لایه نشانی بپردازند.دارای فرایند عملکرد راحت و بدون پیچیدگیصفحه نمایش لمسی به منظور کنترل فرایند لایه نشانی و وارد کردن سریع اطلاعاتسهولت در قرار دادن و برداشتن نمونه ها از داخل دستگاهلایه نشانی دقیق با قابلیت تکرار پذیریبدون نیاز به خنک سازی محفظه خلاءکنترل نرخ لایه نشانی با دقت یک نانومتر با استفاده از ضخامت سنج کریستالیلایه نشانی کربن به صورت دو مد پالسی یا فلشنرم افزاری با کاربری آسان و قابلیت به روز رسانی از طریق شبکهقابلیت رسم نمودارهای فشار و ضخامت در حین لایه نشانیدارای پورت USB برای انتقال اطلاعاتیک سال گارانتی کاملبسته بندی استاندارد به منظور اطمینان از عدم آسیب دیدگی دستگاه در حین حملدارای گواهی بین المللی CE برای اجازه ورود به بازار اتحادیه اروپاکاربردهاسیستم لایه نشانی در خلاء مدل DSCR برای ایجاد لایه های نانومتری ، ایجاد اتصالات الکتریکی بسیار ظریف در حوزه نانو تکنولوژی و ​میکرو الکترونیک بسیار قابل استفاده می باشد. اصلی ترین کاربرد این دستگاه به عنوان پوشش دهنده نمونه های عایق به منظور مشاهده آنها با میکروسکوپ الکترونی (SEM) می باشد. همچنین امکان لایه نشانی کربن موجب شده تا بتوان از این دستگاه برای آماده سازی نمونه ها به منظور آنالیز با اشعه ایکس (EDXA ) نیز استفاده کرد. برای لایه نشانی انواع فلزات اکسیدی و غیر اکسیدی و همچنین لایه نشانی کربن در فشار کمتر، مدل DSCT که مجهز به پمپ توربو مولکولار می باشد توصیه می گردد.لایه نشانی کربندستگاه DSCR به گونه ای طراحی شده است که قابلیت جایگذاری درب مجهز به لایه نشان کربن را دارا می باشد. برای این منظور فقط کافیست کاربر درب اسپاترینگ را از روی محفظه شیشه ای در حالت باز قرار دهد و درب لایه نشان کربن را روی محفظه قرار دهد. الکترودها به گونه ای در نظر گرفته شده اند که کاربر به راحتی می تواند نخ کربن را در مکان مناسب جای دهد.صفحه نمایش رنگیدستگاه لایه نشانی تحت خلاء، مجهز به یک مانیتور لمسی ۷ اینچی تمام رنگی می باشد که تمام فرایندهای کنترل دستگاه از طریق آن انجام می شود. با توجه به کاربری ساده نرم افزار سیستم، کاربر می تواند اطالاعات لازم را به راحتی و از طریق این صفحه نمایش وارد کند و یا اطلاعات مربوط به فرایند لایه نشانی (فشار، ضخامت، نرخ لایه نشانی و …) را در حین فرایند به صورت نمودار و یا دیتا مشاهده نماید.همچنین دستگاه توانایی ثبت اطلاعات مربوط به ۳۰۰ لایه نشانی آخر را دارا می باشد. کاربر می تواند از طریق این صفحه نمایش، فرایند لایه نشانی را بر اساس ضخامت یا زمان تنظیم کرده و پس از رسیدن به زمان یا ضخامت مورد نظر عملیات لایه نشانی به صورت خودکار متوقف می شود.سیستم  چرخاننده زیر لایهچرخش زیرلایه در هنگام لایه نشانی به منظور یکنواختی لایه، از دیگر امکانات این سیستم لایه نشانی می باشد. همچنین دستگاه قابلیت مجهز شدن به سیستم چرخاننده سیاره ای زیرلایه را نیز دارا می باشد. حرکت سیاره ای ( در سه جهت x,y,z ) موجب می شود تا درون حفره های نمونه های متخلخل نیز به خوبی پوشش داده شوند. نگهدارنده نمونه می تواند متناسب با نیاز مشتری طراحی و تحویل داده شود. تعویض و جایگذاری نگهدارنده های نمونه در این دستگاه بسیار ساده بوده و کاربر به سادگی قادر به انجام آن می باشد.تجهیزات اضافه و لوازم جانبیمنبع تغذیه و درِ تبخیر حرارتی مناسب برای تبخیرسنسورکریستال کوارتزچرخاننده نمونه سیاره ایشیشه یدک محفظه خلاء به همراه لاستیک های آب بندی دور شیشهنخ کربنتارگتهای اسپاترینگسایر مشخصات دستگاهپمپ روتاری دو مرحله ای   m۳/h4فشار نهایی کمتر از ۵۰ میلی تورمحفظه از جنس پیرکس با ارتفاع  mm 140 و قطر خارجی mm 170یک کاتد مگنترون ۲ اینچیالکترونیک شاترمنبع تغذیه پالسی ۰ تا ۲۵ آمپرمنبع تغذیه سوئیچینگ با توان ۸۰ واتنگهدارانده زیر لایه با قابلیت چرخشدارای دو مد کنترل اتوماتیک و دستیکنترل فرآیند لایه نشانی بر اساس زمان یا ضخامتقابلیت نگهداری نمونه ها در خلأتنظیم فشار داخل محفظه توسط شیر الکتریکیشاتر الکترونیکیابعاد: ۴۵۰*۵۰۰*۳۷۰ میلیمتروزن دستگاه همراه با پمپ ۴۲ کیلوگرم 

پمپ توربو مولکولار خلاء بالا با ظرفیت ۹۰l/s (آلمانی)پمپ پشتیبان روتاری دو مرحله ایفشارسنج فول رنج (آلمانی)فشار نهایی کمتر از ۷-۱۰ × ۷ Torrصفحه نمایش لمسی به منظور کنترل فرایند لایه نشانی و وارد کردن سریع اطلاعاتلایه نشانی دقیق با قابلیت تکرار پذیریکنترل نرخ لایه نشانی با دقت یک نانومتر و رزولوشن ۱ آنگستروم  با استفاده از ضخامت سنج کریستالیلایه نشانی کربن به صورت دو مد پالسی یا فلشدرِ کربن دو نخه برای لایه نشانی لایه هایی با ضخامت زیادنرم افزاری با کاربری آسان و قابلیت به روز رسانی از طریق شبکهقابلیت رسم نمودارهای فشار و ضخامت در حین لایه نشانیدارای پورت USB برای انتقال اطلاعاتیک سال گارانتی کاملبسته بندی استاندارد به منظور اطمینان از عدم آسیب دیدگی دستگاه در حین حمللایه نشانی پالسی کربن در دستگاه اسپاترینگ و لایه نشان کربن خلاء بالادستگاه لایه نشان تحت خلاء، مجهز به یک منبع تغذیه جریان بالا می باشد که امکان لایه نشانی کربن در دو مد پالسی و یا فلش را فراهم می کند. در لایه نشانی پالسی کربن که فرایند لایه نشانی در خلال پالس های کوتاه صورت می پذیرد، کنترل فرایند لایه نشانی بهتر یوده و مقدار دور ریزهای کربن نسبت به روش های متداول کمتر می باشد.سیستم  چرخاننده زیر لایهچرخش زیرلایه در هنگام لایه نشانی به منظور یکنواختی لایه، از دیگر امکانات دستگاه اسپاترینگ و لایه نشان کربن خلاء بالا، می باشد. همچنین دستگاه قابلیت مجهز شدن به سیستم چرخاننده سیاره ای زیرلایه را نیز دارا می باشد. حرکت سیاره ای(در سه جهت x,y,z) موجب می شود تا درون حفره های نمونه های متخلخل نیز به خوبی پوشش داده شوند.نگهدارنده نمونه می تواند متناسب با نیاز مشتری طراحی و تحویل داده شود. تعویض و جایگذاری نگهدارنده های نمونه در این دستگاه بسیار ساده بوده و کاربر به سادگی قادر به انجام آن می باشد.

محفظه خلاء دستگاه اسپاترینگ رومیزی خلاء بالا، شامل یک مخزن استوانه ای از جنس پیرکس به قطر ۱۷۰mm و ارتفاع ۱۴۰mm همراه با اورینگ های ال شکل می باشد. دستگاه مجهز به پمپ توربومولکولار خلاء بالا می باشد که توسط یک پمپ روتاری دو مرحله ای پشتیبانی می شود و در نتیجه هیچ گونه آلودگی ناشی از روغن(که از ویژگی های پمپ های دیفیوژنی است) وارد محفظه خلاء نمی شود و لایه نشانی در یک محیط بسیار تمیز انجام می شود.صفحه نمایش رنگی دستگاه اسپاترینگ رومیزی خلاء بالادستگاه لایه نشانی به روش کند و پاش(اسپاترینگ) مدل DST1-170 مجهز به یک مانیتور لمسی ۷ اینچی تمام رنگی می باشد که تمام فرایندهای کنترل دستگاه از طریق آن انجام می شود. با توجه به کاربری ساده نرم افزار سیستم، کاربر می تواند اطلاعات لازم را به راحتی و از طریق این صفحه نمایش وارد کند و یا اطلاعات مربوط به فرایند لایه نشانی(فشار، ضخامت، نرخ لایه نشانی و …) را در حین فرایند به صورت نمودار و یا دیتا مشاهده نماید. همچنین دستگاه توانایی ثبت اطلاعات مربوط به ۳۰۰ لایه نشانی آخر را دارا می باشد.کاربر می تواند از طریق این صفحه نمایش، فرایند لایه نشانی را بر اساس ضخامت یا زمان تنظیم کرده و پس از رسیدن به زمان یا ضخامت مورد نظر عملیات لایه نشانی به صورت خودکار متوقف می شود.سایر مشخصات دستگاهفشار نهایی کمتر از ۷-۱۰ × ۷ Torr محفظه از جنس پیرکس با ارتفاع ۱۴۰mm و قطر خارجی ۱۷۰mmدارای یک کاتد مگنترون دو اینچیمنبع تغذیه DC با توان ۸۰ واتنگهدارانده زیر لایه با قابلیت چرخشکنترل فرآیند لایه نشانی بر اساس زمان یا ضخامتقابلیت نگهداری نمونه ها در خلاءقابلیت رسم نمودارهای فشار و ضخامت در حین لایه نشانیشاتر الکترونیکیبرق ورودی: ۲۲۰V – ۵۰HZ – ۱۶Aوزن: ۳۶ کیلوگرممشخصات دستگاهپمپ توربومولکولار خلاء بالا (آلمانی) با ظرفیت ۹۰l/sپمپ پشتیبان روتاری دو مرحله ایفشارسنج فول رنج (آلمانی)کنترل نرخ لایه نشانی با دقت یک نانومتر و رزولوشن ۱ آنگستروم  با استفاده از ضخامت سنج کریستالی کوارتز  شامل اسیلاتور و نگهدارنده کریستال با قابلیت اندازه گیری ضخامت در حین لایه نشانیصفحه نمایش لمسی به منظور کنترل فرایند لایه نشانی و وارد کردن سریع اطلاعاتنرم افزاری با کاربری آسان و قابلیت به روز رسانی از طریق شبکهقابلیت رسم نمودارهای فشار و ضخامت در حین لایه نشانیدارای پورت USB برای انتقال اطلاعاتیک سال گارانتی کاملبسته بندی استاندارد به منظور اطمینان از عدم آسیب دیدگی دستگاه در حین حملسیستم  چرخاننده زیر لایهچرخش زیرلایه در هنگام لایه نشانی به منظور یکنواختی لایه، از دیگر امکانات دستگاه اسپاترینگ رومیزی خلاء بالا مدل DST1-170، می باشد. همچنین دستگاه قابلیت مجهز شدن به سیستم چرخاننده سیاره ای زیرلایه را نیز دارا می باشد. حرکت سیاره ای(در سه جهت x,y,z) موجب می شود تا درون حفره های نمونه های متخلخل نیز به خوبی پوشش داده شوند.نگهدارنده نمونه می تواند متناسب با نیاز مشتری طراحی و تحویل داده شود. تعویض و جایگذاری نگهدارنده های نمونه در این دستگاه بسیار ساده بوده و کاربر به سادگی قادر به انجام آن می باشد.تجهیزات اضافه و لوازم جانبی دستگاه اسپاترینگ رومیزی خلاء بالاسنسورکریستال کوارتزچرخاننده نمونه سیاره ایشیشه یدک محفظه خلاء به همراه لاستیک های آب بندی دور شیشهتارگت های اسپاترینگ

دارای عملکرد راحت و بدون پیچیدگیصفحه نمایش لمسی به منظور کنترل فرایند لایه نشانی و وارد کردن سریع اطلاعاتسهولت در قرار دادن و برداشتن نمونه‌ها از داخل دستگاهلایه نشانی دقیق با قابلیت تکرار پذیریبدون نیاز به خنک‌سازی محفظه خلاءانجام اسپاترینگ در ولتاژ پایینکنترل نرخ لایه نشانی با دقت یک نانومتر با استفاده از ضخامت‌سنج کریستالیلایه نشانی کربن به صورت دو مد پالسی یا فلشنخ کربن دو رشته‌ای برای لایه نشانی ضخیم‌تر در زمان کوتاه‌ترنرم افزاری با کاربری آسان و قابلیت به روز رسانیقابلیت رسم نمودار‌های فشار و ضخامت در حین لایه نشانیدارای پورت USB برای انتقال اطلاعاتدو سال گارانتی کامل بسته‌بندی استاندارد به منظور اطمینان از عدم آسیب‌دیدگی دستگاه در حین حملدارای گواهی بین‌المللی CE برای اجازه ورود به بازار اتحادیه اروپاکاربردهای DSCR-300سیستم لایه نشانی در خلاء مدل DSCR-300 با محفظه بزرگ‌تر، برای ایجاد لایه‌های نانومتری، ایجاد اتصالات الکتریکی بسیار ظریف در حوزه نانو‌تکنولوژی و میکرو‌الکترونیک بسیار مناسب می‌باشد. اصلی‌ترین کاربرد این دستگاه به عنوان پوشش‌دهنده نمونه‌های عایق به منظور مشاهده آنها با میکروسکوپ الکترونی (SEM) می‌باشد. همچنین امکان لایه نشانی کربن موجب‌شده تا بتوان از این دستگاه برای آماده‌سازی نمونه‌ها به منظور آنالیز با اشعه ایکس (EDXA) نیز استفاده کرد. برای لایه نشانی انواع فلزات اکسیدی و غیر اکسیدی و همچنین لایه نشانی کربن در فشار کمتر، مدل DSCT که مجهز به پمپ توربو‌مولکولار است، توصیه می‌گردد.لایه نشانی کربندستگاه DSCR-300، دستگاه اسپاترینگ و لایه نشان کربن، به گونه‌ای طراحی شده است که قابلیت جایگذاری درِ مجهز به لایه نشان کربن (Carbon Head) را دارا می‌باشد. برای این منظور فقط کافیست کاربر درِ اسپاترینگ را از روی محفظه شیشه‌ای به حالت باز بگذارد و درِ لایه نشان کربن (Carbon Head) را روی محفظه قرار دهد. الکترودها به گونه‌ای در نظر گرفته شده‌اند که کاربر به راحتی می‌تواند نخ کربن را در مکان مناسب جای دهد.صفحه نمایش رنگی DSCR-300این دستگاه لایه نشانی مجهز به یک مانیتور لمسی ۷ اینچی تمام رنگی می‌باشد که تمام فرایندهای کنترل دستگاه از طریق آن انجام می شود. با توجه به کاربری ساده نرم‌افزار سیستم، کاربر می‌تواند اطلاعات لازم را به راحتی و از طریق این صفحه نمایش وارد کند و یا اطلاعات مربوط به فرایند لایه نشانی (فشار، ضخامت، نرخ لایه نشانی و …) را در حین فرایند به صورت نمودار و یا دیتا مشاهده نماید.همچنین دستگاه توانایی ثبت اطلاعات مربوط به ۳۰۰ لایه نشانی آخر را دارا می‌باشد. کاربر می‌تواند از طریق این صفحه نمایش، فرایند لایه نشانی را بر اساس ضخامت یا زمان تنظیم کرده و پس از رسیدن به زمان یا ضخامت مورد نظر عملیات لایه نشانی به صورت خودکار متوقف می‌شود.سیستم چرخاننده زیر‌لایهچرخش زیر‌لایه در هنگام لایه نشانی به‌منظور یکنواختی لایه، از دیگر امکانات این سیستم لایه نشانی می‌باشد. سایز نگهدارنده نمونه چرخان در این دستگاه در دو قطر ۲ و ۴ اینچی طراحی شده است که متناسب با نیاز مشتری ارائه می‌شود.تجهیزات اضافه و لوازم جانبی DSCR-300منبع تغذیه و درِ (Carbon Head) تبخیر حرارتی مناسب برای تبخیر کربن میله ایسنسورکریستال کوارتزشیشه یدک محفظه خلاء به همراه لاستیک‌های آب‌بندی دور شیشهنخ کربنتارگت‌های اسپاترینگاورینگ و بن‌سیل یدکسایر مشخصات دستگاه اسپاترینگ و لایه نشان کربنپمپ روتاری دو مرحله ایفشار نهایی کمتر از ۵۰ میلی‌تورمحفظه از جنس پیرکس با ارتفاع ۱۴۰ میلیمتر و قطر خارجی ۳۰۰ میلیمترکاتد مگنترون ۳ یا ۴ اینچیبرق ورودی ۱۰ آمپر، ۵۰/۶۰ هرتز، ۲۲۰-۲۴۰ ولتمنبع تغذیه سوئیچینگ با توان ۲۰۰ واتنگهدارنده زیر لایه با قابلیت چرخشدارای دو مد کنترل اتوماتیک و دستیکنترل فرآیند لایه نشانی بر اساس زمان یا ضخامتقابلیت نگهداری نمونه‌ها در خلاءتنظیم فشار داخل محفظه توسط شیر‌الکتریکیشاتر الکترونیکیابعاد: ۶۳۰*۵۰۰*۵۸۰ میلیمتروزن دستگاه ۴۲ کیلوگرموزن پمپ (روتاری) ۲۰ کیلوگرم

کنترل نرخ لایه نشانی با دقت یک نانومتر با استفاده از ضخامت‌سنج کریستالیصفحه نمایش لمسی به منظور کنترل فرایند لایه نشانی و وارد کردن سریع اطلاعاتنرم‌افزاری با کاربری آسان و قابلیت به‌روز‌رسانی از طریق شبکهقابلیت رسم نمودار‌های فشار و ضخامت در حین لایه نشانیدارای پورت USB برای انتقال اطلاعاتیک سال گارانتی کاملبسته‌بندی استاندارد به منظور اطمینان از عدم آسیب‌دیدگی دستگاه در حین حملدارای گواهی بین المللی CE برای اجازه ورود به بازار اتحادیه اروپالایه نشانی کربن در دستگاه DSCT-Tدستگاه اسپاترینگ، لایه نشان کربن و تبخیر حرارتی تحت خلاء مجهز به یک منبع تغذیه جریان بالا می‌باشد که امکان لایه نشانی کربن را به حالت میله‌ای یا نخ کربن فراهم می‌کند. دستگاه DSCT-T نخ کربن را در دو مد پالسی و یا فلش تبخیر می‌کند. در لایه نشانی پالسی، فرایند لایه نشانی در خلال پالس‌های کوتاه صورت می‌پذیرد، کنترل فرایند لایه نشانی بهتر است و مقدار دور‌ریز‌های کربن نسبت به روش‌های متداول کمتر می‌باشد.درخواست صدور پیش فاکتورتبخیر حرارتیدستگاه DSCT-T مجهز به یک در مخصوص تبخیر حرارتی (Thermal Evaporation Head) می‌باشد که امکان تبخیر فلزات با دمای تبخیر پایین و امکان تمیز کردن پنجره عبور پرتو الکترونی در میکروسکوپ الکترونی (Aperture Cleaning) را فراهم می‌کند. یک مبنع تبخیر حرارتی به صورت بوته یا بسکت با طول ۴ تا ۱۰ سانتیمتر می‌تواند به راحتی بر روی در تبخیر حرارتی نصب و استفاده شود. ارتفاع این منبع نسبت به در تبخیر حرارتی قابل تنظیم و تغییر می‌باشد. تبخیر حرارتی، کاربردهای فراوانی دارند که از جمله میتوان به ساخت لایه نازک فلزات در نانو و میکروالکترونیک، اپتیک، سلول‌های خورشیدی و سنسور‌های لایه نازک اشاره کرد.سیستم  چرخاننده زیر‌لایهچرخش زیرلایه در هنگام لایه نشانی به منظور یکنواختی لایه، از دیگر امکانات دستگاه اسپاترینگ، لایه نشان کربن و تبخیر حرارتی می‌باشد. همچنین دستگاه قابلیت مجهز شدن به سیستم چرخاننده سیاره‌ای زیرلایه را نیز دارا می‌باشد. حرکت سیاره‌ای (در سه جهت x,y,z) موجب می‌شود تا درون حفره‌های نمونه‌های متخلخل نیز به خوبی پوشش داده شوند.نگهدارنده نمونه می‌تواند متناسب با نیاز مشتری طراحی و تحویل داده شود. تعویض و جایگذاری نگهدارنده‌های نمونه در این دستگاه بسیار ساده است و کاربر به سادگی قادر به انجام آن می‌باشد.تجهیزات اضافه و لوازم جانبی DSCT-Tمنبع تغذیه با جریان بالادر تبخیر حرارتی مناسب برای لایه نشانی کربن (میله کربنی یا نخ کربنی)در تبخیر حرارتیسنسورکریستال کوارتزچرخاننده نمونه سیاره‌ایشیشه یدک محفظه خلاء به همراه لاستیک‌های آب‌بندی دور شیشهنخ کربن یا میله کربنتارگت اسپاترینگمنابع تبخیر حرارتی (بوته، بسکت)سایر مشخصات دستگاه اسپاترینگ، لایه نشان کربن و تبخیر حرارتیفشار نهایی کمتر از ۵-۱۰ × ۵ تورقابلیت کنترل نرخ اسپاترینگ برای رسیدن به لایه بهترمحفظه خلاء از جنس استیل و پیرکس با ارتفاع mm 140 و قطر خارجی mm 170کنترل فرآیند لایه نشانی بر اساس زمان یا ضخامتقابلیت کنترل جریان اسپاترینگ مستقل از فشارقابلیت رسم نمودار‌های فشار و ضخامت در حین لایه نشانیدارای پورت USB برای انتقال اطلاعاتتنظیم فشار داخل محفظه توسط شیر الکترونیکیشاتر الکترونیکیبرق ورودی: ۲۲۰V, 50HZ, 10Aوزن دستگاه ۴۲ کیلوگرم