دستگاه لایه نشان ترکیبی – VCS100F

دو عدد کاتد اسپاترینگ آبگرد با قابلیت نصب تارگت‌های دو اینچی

پمپ خلاء توربومولکولار ۳۵۰ لیتر بر ثانیه ساخت شرکت آلمانی لیبولد

فشارسنج فول رنج ساخت شرکت المانی لیبولد

پمپ روتاری دو مرحله ای با ظرفیت ۱۲ متر مکعب بر ساعت (m3/h) همراه با فیلتر روغن

محفظه از جنس استیل به قطر ۴۰ سانتیمتر و ارتفاع ۵۰ سانتیمتر شامل دو پنجره دید

سه عدد چشمه تبخیر حرارتی

دو عدد ضخامت‌سنج کریستالی با دقت اندازه گیری ۱ نانومتر

منبع تغذیه تبخیر حرارتی با توان ۲ کیلو وات

منبع ولتاژ بالای اسپاترینگ

فیدترو‌های جریان بالا

دستگاه لایه نشان ترکیبی در خلاء مدل VCS100F یک سیستم لایه نشانی ترکیبی شامل مگنترون اسپاترینگ و تبخیر حرارتی می‌باشد. به دلیل بزرگ‌تر بودن ابعاد محفظه این دستگاه، نسبت به مدل‌های رومیزی مانند دستگاه اسپاترینگ رومیزی – DSR1 و دستگاه تبخیر حرارتی – DTT، سیستم تبخیر حرارتی و کاتد‌های اسپاترینگ هر دو روی کف محفظه تعبیه شده‌اند و عملیات لایه نشانی از سمت پایین به بالا انجام می‌گیرد. به همین دلیل، در دستگاه لایه نشان ترکیبی VCS100F بدون نیاز به ونت کردن محفظه میتوان به صورت پی‌در‌پی چند لایه‌ای‌ها را با هر دو روش تبخیر حرارتی و اسپاترینگ ایجاد کرد.

ابعاد بزرگ‌تر و همچنین فلزی بودن محفظه خلاء VCS100F سبب می‌شود تا بتوان عملیات لایه نشانی به روش تبخیر حرارتی را در جریان‌های بالا‌تر و با مدت زمان طولانی‌تر انجام داد و همچنین کمتر نگران گرم شدن کف محفظه و جدار داخلی محفظه خلاء بود. به علاوه، ارتفاع زیاد محفظه سبب می‌شود تا در روش تبخیر حرارتی نمونه‌هایی با قطر تا ۸ اینچ را هم بتوان با یکنواختی خوبی لایه نشانی کرد.

از مزایای دیگر دستگاه لایه نشان ترکیبی VCS100F میتوان به والو پروانه‌ای آن اشاره کرد که بر روی دهانه پمپ توربو نصب شده و بلافاصله بعد از پایان عملیات لایه نشانی اسپاترینگ بدون نیاز به خاموش کردن توربو یا انتظار برای متوقف شدن چرخش آن، میتوان محفظه را ونت کرد.