کنترل نرخ لایه نشانی با دقت یک نانومتر با استفاده از ضخامتسنج کریستالی
صفحه نمایش لمسی به منظور کنترل فرایند لایه نشانی و وارد کردن سریع اطلاعات
نرمافزاری با کاربری آسان و قابلیت بهروزرسانی از طریق شبکه
قابلیت رسم نمودارهای فشار و ضخامت در حین لایه نشانی
دارای پورت USB برای انتقال اطلاعات
یک سال گارانتی کامل
بستهبندی استاندارد به منظور اطمینان از عدم آسیبدیدگی دستگاه در حین حمل
دارای گواهی بین المللی CE برای اجازه ورود به بازار اتحادیه اروپا
کاربردهای DSR1
سیستم لایه نشانی در خلاء مدل DSR1 ، برای ایجاد لایههای نانومتری، ایجاد اتصالات الکتریکی بسیار ظریف در حوزه نانوتکنولوژی و میکروالکترونیک بسیار قابل استفاده میباشد. اصلیترین کاربرد این دستگاه به عنوان پوششدهنده نمونههای عایق بهمنظور مشاهده آنها با میکروسکوپ الکترونی(SEM)، SEM Coater، میباشد. یکی دیگر از کاربردهای دستگاه DSR1، در آزمایشگاههای لایه نشانی، نانوتکنولوژی و الکترونیک بوده و ابزار آموزشی بسیار مناسبی برای آشنا نمودن دانشجویان و دانشآموزان با مقوله خلاء، پلاسما و لایه نشانی میباشد.
لازم به ذکر است برای لایه نشانی انواع فلزات اکسیدی و غیر اکسیدی، مدل DST1 که مجهز به پمپ توربومولکولار میباشد، توصیه میگردد.
صفحه نمایش رنگی DSR1
دستگاه لایه نشانی به روش کند و پاش(اسپاترینگ) مدل DSR1 مجهز به یک مانیتور لمسی ۷ اینچی تمام رنگی میباشد که تمام فرایندهای کنترل دستگاه از طریق آن انجام میشود. با توجه به کاربری ساده نرم افزار سیستم، کاربر میتواند اطالاعات لازم را به راحتی و از طریق این صفحه نمایش وارد کند و یا اطلاعات مربوط به فرایند لایه نشانی(فشار، ضخامت، نرخ لایه نشانی و …) را در حین فرایند به صورت نمودار و یا دیتا مشاهده نماید. همچنین دستگاه اسپاترینگ رومیزی یا Sputter Coater ، توانایی ثبت اطلاعات مربوط به ۳۰۰ لایه نشانی آخر را دارا میباشد.
کاربر میتواند از طریق این صفحه نمایش، فرایند لایه نشانی را بر اساس ضخامت یا زمان تنظیم کرده و پس از رسیدن به زمان یا ضخامت مورد نظر عملیات لایه نشانی به صورت خودکار متوقف میشود.
سیستم چرخاننده زیرلایه
چرخش زیرلایه در هنگام لایه نشانی به منظور یکنواختی لایه، از دیگر امکانات این دستگاه اسپاترینگ رومیزی یا Sputter Coater میباشد. همچنین دستگاه قابلیت مجهز شدن به سیستم چرخاننده سیارهای زیرلایه را نیز دارا میباشد. حرکت سیارهای(در سه جهت x,y,z) موجب میشود تا درون حفرههای نمونههای متخلخل نیز به خوبی پوشش داده شوند. نگهدارنده نمونه، میتواند متناسب با نیاز مشتری طراحی و تحویل داده شود. تعویض و جایگذاری نگهدارندههای نمونه در دستگاه DSR1 بسیار ساده بوده و کاربر به سادگی قادر به انجام آن میباشد.
تجهیزات اضافه و لوازم جانبی DSR1
سنسور کریستال کوارتز
چرخاننده نمونه سیارهای
شیشه یدک محفظه خلاء همراه با لاستیکهای آببندی دور شیشه
تارگتهای اسپاترینگ
سایر مشخصات دستگاه اسپاترینگ رومیزی
پمپ روتاری دو مرحلهای m۳/h4
فشار نهایی کمتر از ۴۰ میلیتور
محفظه از جنس پیرکس با ارتفاع mm 140 و قطر خارجی mm 170
دارای یک کاتد مگنترون دو اینچی
منبع تغذیه سوئیچینگ DC با توان ۸۰ وات
نگهدارانده زیرلایه با قابلیت چرخش دارای دو مد کنترل اتوماتیک و دستی
کنترل فرآیند لایه نشانی بر اساس زمان یا ضخامت
قابلیت نگهداری نمونهها در خلاء
تنظیم فشار داخل محفظه توسط شیر الکتریکی
شاتر الکترونیکی
ابعاد: ۴۵۰*۵۰۰*۳۷۰ میلیمتر
وزن دستگاه همراه با پمپ ۴۲ کیلوگرم
کنترل نرخ لایه نشانی با دقت یک نانومتر با استفاده از ضخامتسنج کریستالی
صفحه نمایش لمسی به منظور کنترل فرایند لایه نشانی و وارد کردن سریع اطلاعات
نرمافزاری با کاربری آسان و قابلیت بهروزرسانی از طریق شبکه
قابلیت رسم نمودارهای فشار و ضخامت در حین لایه نشانی
دارای پورت USB برای انتقال اطلاعات
یک سال گارانتی کامل
بستهبندی استاندارد به منظور اطمینان از عدم آسیبدیدگی دستگاه در حین حمل
دارای گواهی بین المللی CE برای اجازه ورود به بازار اتحادیه اروپا
کاربردهای DSR1
سیستم لایه نشانی در خلاء مدل DSR1 ، برای ایجاد لایههای نانومتری، ایجاد اتصالات الکتریکی بسیار ظریف در حوزه نانوتکنولوژی و میکروالکترونیک بسیار قابل استفاده میباشد. اصلیترین کاربرد این دستگاه به عنوان پوششدهنده نمونههای عایق بهمنظور مشاهده آنها با میکروسکوپ الکترونی(SEM)، SEM Coater، میباشد. یکی دیگر از کاربردهای دستگاه DSR1، در آزمایشگاههای لایه نشانی، نانوتکنولوژی و الکترونیک بوده و ابزار آموزشی بسیار مناسبی برای آشنا نمودن دانشجویان و دانشآموزان با مقوله خلاء، پلاسما و لایه نشانی میباشد.
لازم به ذکر است برای لایه نشانی انواع فلزات اکسیدی و غیر اکسیدی، مدل DST1 که مجهز به پمپ توربومولکولار میباشد، توصیه میگردد.
صفحه نمایش رنگی DSR1
دستگاه لایه نشانی به روش کند و پاش(اسپاترینگ) مدل DSR1 مجهز به یک مانیتور لمسی ۷ اینچی تمام رنگی میباشد که تمام فرایندهای کنترل دستگاه از طریق آن انجام میشود. با توجه به کاربری ساده نرم افزار سیستم، کاربر میتواند اطالاعات لازم را به راحتی و از طریق این صفحه نمایش وارد کند و یا اطلاعات مربوط به فرایند لایه نشانی(فشار، ضخامت، نرخ لایه نشانی و …) را در حین فرایند به صورت نمودار و یا دیتا مشاهده نماید. همچنین دستگاه اسپاترینگ رومیزی یا Sputter Coater ، توانایی ثبت اطلاعات مربوط به ۳۰۰ لایه نشانی آخر را دارا میباشد.
کاربر میتواند از طریق این صفحه نمایش، فرایند لایه نشانی را بر اساس ضخامت یا زمان تنظیم کرده و پس از رسیدن به زمان یا ضخامت مورد نظر عملیات لایه نشانی به صورت خودکار متوقف میشود.
سیستم چرخاننده زیرلایه
چرخش زیرلایه در هنگام لایه نشانی به منظور یکنواختی لایه، از دیگر امکانات این دستگاه اسپاترینگ رومیزی یا Sputter Coater میباشد. همچنین دستگاه قابلیت مجهز شدن به سیستم چرخاننده سیارهای زیرلایه را نیز دارا میباشد. حرکت سیارهای(در سه جهت x,y,z) موجب میشود تا درون حفرههای نمونههای متخلخل نیز به خوبی پوشش داده شوند. نگهدارنده نمونه، میتواند متناسب با نیاز مشتری طراحی و تحویل داده شود. تعویض و جایگذاری نگهدارندههای نمونه در دستگاه DSR1 بسیار ساده بوده و کاربر به سادگی قادر به انجام آن میباشد.
تجهیزات اضافه و لوازم جانبی DSR1
سنسور کریستال کوارتز
چرخاننده نمونه سیارهای
شیشه یدک محفظه خلاء همراه با لاستیکهای آببندی دور شیشه
تارگتهای اسپاترینگ
سایر مشخصات دستگاه اسپاترینگ رومیزی
پمپ روتاری دو مرحلهای m۳/h4
فشار نهایی کمتر از ۴۰ میلیتور
محفظه از جنس پیرکس با ارتفاع mm 140 و قطر خارجی mm 170
دارای یک کاتد مگنترون دو اینچی
منبع تغذیه سوئیچینگ DC با توان ۸۰ وات
نگهدارانده زیرلایه با قابلیت چرخش دارای دو مد کنترل اتوماتیک و دستی
کنترل فرآیند لایه نشانی بر اساس زمان یا ضخامت
قابلیت نگهداری نمونهها در خلاء
تنظیم فشار داخل محفظه توسط شیر الکتریکی
شاتر الکترونیکی
ابعاد: ۴۵۰*۵۰۰*۳۷۰ میلیمتر
وزن دستگاه همراه با پمپ ۴۲ کیلوگرم
فروشنده | شرکـت پوشــشهای نانو ساختـار |
حداقل تعداد سفارش | |
حداقل قیمت | |
حداکثر قیمت | |
شرایط تحویل | |
زمان تحویل |
دستگاه اسپاترینگ رومیزی – DSR1
نظرات