DRIE

سیستم زدایش فعال یونی و زدایش عمیق سیلیکان

زدایش غیرهمسانگرد به صورت خشک در محیط پلاسما برای ایجاد ساختارهای مطلوب در سیستم های الکترومکانیکی مورد نیاز آزمایشگاه هایی است که در زمینه ی MEMS فعالیت می کنند. بدین منظور شرکت حسگرسازان طراحی این سیستم را به صورت کامل انجام داده و نمونه ای از آن نیز در آزمایشگاه لایه نازک دانشگاه تهران در حال سرویس دهی به محققان آن موسسه است. از قابلیت های این دستگاه, قابل برنامه ریزی بودن آن است که این امکان را به استفاده کننده می دهد تا از آن به عنوان سیستم زدایش عمیق سیلیکان به روشی که توسط محققین این شرکت طراحی و ثبت شده است استفاده کنند.