دارای عملکرد راحت و بدون پیچیدگی
صفحه نمایش لمسی به منظور کنترل فرایند لایه نشانی و وارد کردن سریع اطلاعات
سهولت در قرار دادن و برداشتن نمونهها از داخل دستگاه
لایه نشانی دقیق با قابلیت تکرار پذیری
بدون نیاز به خنکسازی محفظه خلاء
انجام اسپاترینگ در ولتاژ پایین
کنترل نرخ لایه نشانی با دقت یک نانومتر با استفاده از ضخامتسنج کریستالی
لایه نشانی کربن به صورت دو مد پالسی یا فلش
نخ کربن دو رشتهای برای لایه نشانی ضخیمتر در زمان کوتاهتر
نرم افزاری با کاربری آسان و قابلیت به روز رسانی
قابلیت رسم نمودارهای فشار و ضخامت در حین لایه نشانی
دارای پورت USB برای انتقال اطلاعات
دو سال گارانتی کامل بستهبندی استاندارد به منظور اطمینان از عدم آسیبدیدگی دستگاه در حین حمل
دارای گواهی بینالمللی CE برای اجازه ورود به بازار اتحادیه اروپا
کاربردهای DSCR-300
سیستم لایه نشانی در خلاء مدل DSCR-300 با محفظه بزرگتر، برای ایجاد لایههای نانومتری، ایجاد اتصالات الکتریکی بسیار ظریف در حوزه نانوتکنولوژی و میکروالکترونیک بسیار مناسب میباشد. اصلیترین کاربرد این دستگاه به عنوان پوششدهنده نمونههای عایق به منظور مشاهده آنها با میکروسکوپ الکترونی (SEM) میباشد. همچنین امکان لایه نشانی کربن موجبشده تا بتوان از این دستگاه برای آمادهسازی نمونهها به منظور آنالیز با اشعه ایکس (EDXA) نیز استفاده کرد. برای لایه نشانی انواع فلزات اکسیدی و غیر اکسیدی و همچنین لایه نشانی کربن در فشار کمتر، مدل DSCT که مجهز به پمپ توربومولکولار است، توصیه میگردد.
لایه نشانی کربن
دستگاه DSCR-300، دستگاه اسپاترینگ و لایه نشان کربن، به گونهای طراحی شده است که قابلیت جایگذاری درِ مجهز به لایه نشان کربن (Carbon Head) را دارا میباشد. برای این منظور فقط کافیست کاربر درِ اسپاترینگ را از روی محفظه شیشهای به حالت باز بگذارد و درِ لایه نشان کربن (Carbon Head) را روی محفظه قرار دهد. الکترودها به گونهای در نظر گرفته شدهاند که کاربر به راحتی میتواند نخ کربن را در مکان مناسب جای دهد.
صفحه نمایش رنگی DSCR-300
این دستگاه لایه نشانی مجهز به یک مانیتور لمسی ۷ اینچی تمام رنگی میباشد که تمام فرایندهای کنترل دستگاه از طریق آن انجام می شود. با توجه به کاربری ساده نرمافزار سیستم، کاربر میتواند اطلاعات لازم را به راحتی و از طریق این صفحه نمایش وارد کند و یا اطلاعات مربوط به فرایند لایه نشانی (فشار، ضخامت، نرخ لایه نشانی و …) را در حین فرایند به صورت نمودار و یا دیتا مشاهده نماید.
همچنین دستگاه توانایی ثبت اطلاعات مربوط به ۳۰۰ لایه نشانی آخر را دارا میباشد. کاربر میتواند از طریق این صفحه نمایش، فرایند لایه نشانی را بر اساس ضخامت یا زمان تنظیم کرده و پس از رسیدن به زمان یا ضخامت مورد نظر عملیات لایه نشانی به صورت خودکار متوقف میشود.
سیستم چرخاننده زیرلایه
چرخش زیرلایه در هنگام لایه نشانی بهمنظور یکنواختی لایه، از دیگر امکانات این سیستم لایه نشانی میباشد. سایز نگهدارنده نمونه چرخان در این دستگاه در دو قطر ۲ و ۴ اینچی طراحی شده است که متناسب با نیاز مشتری ارائه میشود.
تجهیزات اضافه و لوازم جانبی DSCR-300
منبع تغذیه و درِ (Carbon Head) تبخیر حرارتی مناسب برای تبخیر کربن میله ای
سنسورکریستال کوارتز
شیشه یدک محفظه خلاء به همراه لاستیکهای آببندی دور شیشه
نخ کربن
تارگتهای اسپاترینگ
اورینگ و بنسیل یدک
سایر مشخصات دستگاه اسپاترینگ و لایه نشان کربن
پمپ روتاری دو مرحله ای
فشار نهایی کمتر از ۵۰ میلیتور
محفظه از جنس پیرکس با ارتفاع ۱۴۰ میلیمتر و قطر خارجی ۳۰۰ میلیمتر
کاتد مگنترون ۳ یا ۴ اینچی
برق ورودی ۱۰ آمپر، ۵۰/۶۰ هرتز، ۲۲۰-۲۴۰ ولت
منبع تغذیه سوئیچینگ با توان ۲۰۰ وات
نگهدارنده زیر لایه با قابلیت چرخش
دارای دو مد کنترل اتوماتیک و دستی
کنترل فرآیند لایه نشانی بر اساس زمان یا ضخامت
قابلیت نگهداری نمونهها در خلاء
تنظیم فشار داخل محفظه توسط شیرالکتریکی
شاتر الکترونیکی
ابعاد: ۶۳۰*۵۰۰*۵۸۰ میلیمتر
وزن دستگاه ۴۲ کیلوگرم
وزن پمپ (روتاری) ۲۰ کیلوگرم
دارای عملکرد راحت و بدون پیچیدگی
صفحه نمایش لمسی به منظور کنترل فرایند لایه نشانی و وارد کردن سریع اطلاعات
سهولت در قرار دادن و برداشتن نمونهها از داخل دستگاه
لایه نشانی دقیق با قابلیت تکرار پذیری
بدون نیاز به خنکسازی محفظه خلاء
انجام اسپاترینگ در ولتاژ پایین
کنترل نرخ لایه نشانی با دقت یک نانومتر با استفاده از ضخامتسنج کریستالی
لایه نشانی کربن به صورت دو مد پالسی یا فلش
نخ کربن دو رشتهای برای لایه نشانی ضخیمتر در زمان کوتاهتر
نرم افزاری با کاربری آسان و قابلیت به روز رسانی
قابلیت رسم نمودارهای فشار و ضخامت در حین لایه نشانی
دارای پورت USB برای انتقال اطلاعات
دو سال گارانتی کامل بستهبندی استاندارد به منظور اطمینان از عدم آسیبدیدگی دستگاه در حین حمل
دارای گواهی بینالمللی CE برای اجازه ورود به بازار اتحادیه اروپا
کاربردهای DSCR-300
سیستم لایه نشانی در خلاء مدل DSCR-300 با محفظه بزرگتر، برای ایجاد لایههای نانومتری، ایجاد اتصالات الکتریکی بسیار ظریف در حوزه نانوتکنولوژی و میکروالکترونیک بسیار مناسب میباشد. اصلیترین کاربرد این دستگاه به عنوان پوششدهنده نمونههای عایق به منظور مشاهده آنها با میکروسکوپ الکترونی (SEM) میباشد. همچنین امکان لایه نشانی کربن موجبشده تا بتوان از این دستگاه برای آمادهسازی نمونهها به منظور آنالیز با اشعه ایکس (EDXA) نیز استفاده کرد. برای لایه نشانی انواع فلزات اکسیدی و غیر اکسیدی و همچنین لایه نشانی کربن در فشار کمتر، مدل DSCT که مجهز به پمپ توربومولکولار است، توصیه میگردد.
لایه نشانی کربن
دستگاه DSCR-300، دستگاه اسپاترینگ و لایه نشان کربن، به گونهای طراحی شده است که قابلیت جایگذاری درِ مجهز به لایه نشان کربن (Carbon Head) را دارا میباشد. برای این منظور فقط کافیست کاربر درِ اسپاترینگ را از روی محفظه شیشهای به حالت باز بگذارد و درِ لایه نشان کربن (Carbon Head) را روی محفظه قرار دهد. الکترودها به گونهای در نظر گرفته شدهاند که کاربر به راحتی میتواند نخ کربن را در مکان مناسب جای دهد.
صفحه نمایش رنگی DSCR-300
این دستگاه لایه نشانی مجهز به یک مانیتور لمسی ۷ اینچی تمام رنگی میباشد که تمام فرایندهای کنترل دستگاه از طریق آن انجام می شود. با توجه به کاربری ساده نرمافزار سیستم، کاربر میتواند اطلاعات لازم را به راحتی و از طریق این صفحه نمایش وارد کند و یا اطلاعات مربوط به فرایند لایه نشانی (فشار، ضخامت، نرخ لایه نشانی و …) را در حین فرایند به صورت نمودار و یا دیتا مشاهده نماید.
همچنین دستگاه توانایی ثبت اطلاعات مربوط به ۳۰۰ لایه نشانی آخر را دارا میباشد. کاربر میتواند از طریق این صفحه نمایش، فرایند لایه نشانی را بر اساس ضخامت یا زمان تنظیم کرده و پس از رسیدن به زمان یا ضخامت مورد نظر عملیات لایه نشانی به صورت خودکار متوقف میشود.
سیستم چرخاننده زیرلایه
چرخش زیرلایه در هنگام لایه نشانی بهمنظور یکنواختی لایه، از دیگر امکانات این سیستم لایه نشانی میباشد. سایز نگهدارنده نمونه چرخان در این دستگاه در دو قطر ۲ و ۴ اینچی طراحی شده است که متناسب با نیاز مشتری ارائه میشود.
تجهیزات اضافه و لوازم جانبی DSCR-300
منبع تغذیه و درِ (Carbon Head) تبخیر حرارتی مناسب برای تبخیر کربن میله ای
سنسورکریستال کوارتز
شیشه یدک محفظه خلاء به همراه لاستیکهای آببندی دور شیشه
نخ کربن
تارگتهای اسپاترینگ
اورینگ و بنسیل یدک
سایر مشخصات دستگاه اسپاترینگ و لایه نشان کربن
پمپ روتاری دو مرحله ای
فشار نهایی کمتر از ۵۰ میلیتور
محفظه از جنس پیرکس با ارتفاع ۱۴۰ میلیمتر و قطر خارجی ۳۰۰ میلیمتر
کاتد مگنترون ۳ یا ۴ اینچی
برق ورودی ۱۰ آمپر، ۵۰/۶۰ هرتز، ۲۲۰-۲۴۰ ولت
منبع تغذیه سوئیچینگ با توان ۲۰۰ وات
نگهدارنده زیر لایه با قابلیت چرخش
دارای دو مد کنترل اتوماتیک و دستی
کنترل فرآیند لایه نشانی بر اساس زمان یا ضخامت
قابلیت نگهداری نمونهها در خلاء
تنظیم فشار داخل محفظه توسط شیرالکتریکی
شاتر الکترونیکی
ابعاد: ۶۳۰*۵۰۰*۵۸۰ میلیمتر
وزن دستگاه ۴۲ کیلوگرم
وزن پمپ (روتاری) ۲۰ کیلوگرم
فروشنده | شرکـت پوشــشهای نانو ساختـار |
حداقل تعداد سفارش | |
حداقل قیمت | |
حداکثر قیمت | |
شرایط تحویل | |
زمان تحویل |
دستگاه اسپاترینگ و لایه نشان کربن – DSCR-300
نظرات