دستگاه اسپاترینگ و لایه نشان کربن خلاء بالا – DSCT

پمپ توربو مولکولار خلاء بالا با ظرفیت ۹۰l/s (آلمانی)

پمپ پشتیبان روتاری دو مرحله ای

فشارسنج فول رنج (آلمانی)

فشار نهایی کمتر از ۷-۱۰ × ۷ Torrصفحه نمایش لمسی به منظور کنترل فرایند لایه نشانی و وارد کردن سریع اطلاعات

لایه نشانی دقیق با قابلیت تکرار پذیری

کنترل نرخ لایه نشانی با دقت یک نانومتر و رزولوشن ۱ آنگستروم  با استفاده از ضخامت سنج کریستالی

لایه نشانی کربن به صورت دو مد پالسی یا فلش

درِ کربن دو نخه برای لایه نشانی لایه هایی با ضخامت زیاد

نرم افزاری با کاربری آسان و قابلیت به روز رسانی از طریق شبکه

قابلیت رسم نمودارهای فشار و ضخامت در حین لایه نشانی

دارای پورت USB برای انتقال اطلاعات

یک سال گارانتی کامل

بسته بندی استاندارد به منظور اطمینان از عدم آسیب دیدگی دستگاه در حین حمل

لایه نشانی پالسی کربن در دستگاه اسپاترینگ و لایه نشان کربن خلاء بالا

دستگاه لایه نشان تحت خلاء، مجهز به یک منبع تغذیه جریان بالا می باشد که امکان لایه نشانی کربن در دو مد پالسی و یا فلش را فراهم می کند. در لایه نشانی پالسی کربن که فرایند لایه نشانی در خلال پالس های کوتاه صورت می پذیرد، کنترل فرایند لایه نشانی بهتر یوده و مقدار دور ریزهای کربن نسبت به روش های متداول کمتر می باشد.

سیستم  چرخاننده زیر لایه

چرخش زیرلایه در هنگام لایه نشانی به منظور یکنواختی لایه، از دیگر امکانات دستگاه اسپاترینگ و لایه نشان کربن خلاء بالا، می باشد. همچنین دستگاه قابلیت مجهز شدن به سیستم چرخاننده سیاره ای زیرلایه را نیز دارا می باشد. حرکت سیاره ای(در سه جهت x,y,z) موجب می شود تا درون حفره های نمونه های متخلخل نیز به خوبی پوشش داده شوند.

نگهدارنده نمونه می تواند متناسب با نیاز مشتری طراحی و تحویل داده شود. تعویض و جایگذاری نگهدارنده های نمونه در این دستگاه بسیار ساده بوده و کاربر به سادگی قادر به انجام آن می باشد.