دستگاه اسپاترینگ سه کاتده – DST3

DST3، یک سیستم لایه نشانی در خلاء به روش اسپاترینگ(کند و پاش) با محفظه شیشه‌ای و پمپ توربومولکولار می‌باشد. این Triple Target Sputter Coater ، مجهز به سه کاتد مگنترون آبگرد دو اینچی بوده و با دارا بودن منابع تغذیه RF و DC، قادر به لایه نشانی گروه وسیعی از مواد شامل فلزات اکسیدی و غیر‌اکسیدی(جدول لایه نشانی مواد)، نیمه هادی‌ها و سرامیک‌ها می‌باشد. دستگاه اسپاترینگ سه کاتده دارای محفظه خلاء بزرگی است که این سیستم را برای لایه نشانی طولانی مدت مناسب می‌سازد. به منظور افزایش چسبندگی لایه نازک لایه نشانی شده به زیرلایه، امکان اعمال ۳۰۰ ولت ولتاژ بایاس به زیرلایه نیز وجود دارد(در صورت در خواست). DST3، مجهز به یک منبع تغذیه RF به همراه مچینگ باکس اتوماتیک است که امکان لایه نشانی دی‌الکتریک‌ها را نیز فراهم می‌آورد.

کنترل خودکار توان لایه نشانی به صورت مستقل از فشار

کنترل خودکار دمای کاتد‌ها در جهت بالا بردن طول عمر مگنت‌ها

محفظه از جنس پیرکس با ارتفاع  mm 250 و قطر خارجی mm 300

دو عدد MFC به منظور کنترل دقیق فشار داخل محفظه

قابلیت نگهداری نمونه‌ها در خلاء

قابلیت رسم نمودار‌های فشار و ضخامت در حین لایه نشانی

شاتر الکترونیکی

ابعاد: قطر ۵۰سانتی متر × عرض ۴۷ سانتی متر ×  ارتفاع ۶۰ سانتی متر

برق ورودی: ۲۲۰V- 50HZ- 16A

وزن همراه با راک حدود Kg 120